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本发明公开了一种三自由度纳米定位微动硅片台，包括底板，支撑机构，柔性导向板，驱动电机，方镜，吸盘和干涉仪；底板为整个硅片台的基座；柔性导向板通过内部特殊导向簧片，实现单层三自由度运动，即X，Y和θz三个运动方向的导向作用，中间通过支撑机构与...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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