用于溅射用旋转靶的接合组合物和使用其的旋转靶接合方法技术

本发明专利技术涉及用于溅射用旋转靶的接合组合物和使用其的旋转靶的接合方法。根据本发明专利技术，该用于溅射用旋转靶的接合组合物将溅射用旋转靶的圆柱形靶接合到圆柱形背管的外周表面，其中所述旋转靶能旋转地安装在溅射用腔室中以在通过驱动马达旋转的同时施加高的电压，其中所述用于将靶接合到背管的外周表面的用于溅射的接合组合物包括50到54重量%的铋和46到50重量%的锡(Sn)的混合物。另外，提供使用所述用于旋转靶的接合组合物接合溅射用旋转靶的方法。根据本发明专利技术，溅射用旋转靶的生产成本显著降低。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：WR辛普森，韩淳锡，
申请(专利权)人：普兰西公司，
类型：
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