用于分离旋转靶的靶的方法技术

根据本发明专利技术的用于分离旋转靶的靶的方法在使用旋转靶之后将通过包括铟和介质粉末的接合剂接合到背管的外周表面的靶从背管分离，其中该方法包括下列步骤：(a)将旋转靶加热到高于铟的熔化温度的温度以熔化和除去铟的一部分；(b)将其中在步骤(a)中熔化和除去了铟的一部分的旋转靶浸渍在盐酸溶液中预定的时间以使铟和介质粉末腐蚀；(c)将其中铟和介质粉末已在步骤(b)中在盐酸溶液中腐蚀的旋转靶加热到高于铟的熔化温度的温度以熔化和除去剩余的铟；和(d)在通过步骤(c)中的加热过程熔化和除去铟之后，将靶从背管的外周表面推向一侧以使靶分离。根据本发明专利技术，可降低生产的单位成本。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：W·R·辛普森，韩淳锡，
申请(专利权)人：普兰西公司，
类型：
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