温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及用于溅射用旋转靶的接合组合物和使用其的旋转靶的接合方法。根据本发明，该用于溅射用旋转靶的接合组合物将溅射用旋转靶的圆柱形靶接合到圆柱形背管的外周表面，其中所述旋转靶能旋转地安装在溅射用腔室中以在通过驱动马达旋转的同时施加高的电压，...
该专利属于普兰西公司所有，仅供学习研究参考，未经过普兰西公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。