感光晶体管、其制造方法以及使用感光晶体管的显示面板技术

本发明专利技术提供了感光晶体管、使用感光晶体管的显示面板、及感光晶体管的制造方法。感光晶体管包括：栅极层；栅绝缘层，在栅极层上；沟道层，在栅绝缘层上；蚀刻停止层，在沟道层的部分区域上；源极和漏极，在沟道层上并彼此分离开，其中蚀刻停止层插置在源极和漏极之间；以及钝化层，覆盖源极、漏极和蚀刻停止层，其中源极与蚀刻停止层分离开。

【技术实现步骤摘要】
感光晶体管、其制造方法以及使用感光晶体管的显示面板
示例实施方式涉及感光晶体管、其制造方法以及使用感光晶体管的显示面板。
技术介绍
薄膜晶体管广泛用于各种领域，具体地，用作显示器领域中的开关器件和驱动器件。近来，已经提出了使用薄膜晶体管作为感光元件，用于光学触摸屏。触摸屏装置是用于在屏幕上直接输入数据的装置。换句话说，当用户的手指或触针（例如，笔）触摸触摸屏装置的显示屏上的特定位置时，利用软件执行一系列进程。当前，广泛使用的触摸屏装置采用通过使用手指或笔来直接触摸显示装置的屏幕的方法。然而，随着显示装置的尺寸增大，用户与显示装置之间的距离增大，因此可能难以使用直接触摸法。光学触摸屏装置是通过感测光而不是通过手指或笔的接触来执行与常规触摸屏相同的功能的装置。光学触摸屏装置被期望不仅用于用户与终端之间的通信而且用于用户之间的通信。当感光晶体管用于光学触摸屏装置且液晶面板用作显示面板时，输入的光穿过偏光膜并且入射到感光晶体管。当光穿过偏光膜时发生光损失。此外，光损失的程度根据入射角而改变。光电流关于特定的入射角而减少大约10%，使得感光晶体管可能不对入射光作出反应。因此，存在研究解决方案以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光晶体管，包括∶栅极层；栅绝缘层，在所述栅极层上；沟道层，在所述栅绝缘层上；蚀刻停止层，在所述沟道层的部分区域上；源极和漏极，在所述沟道层上并彼此分离开，其中所述蚀刻停止层插置在所述源极和所述漏极之间；以及钝化层，覆盖所述源极、所述漏极和所述蚀刻停止层，其中所述源极与所述蚀刻停止层分离开。

【技术特征摘要】
2012.03.13 KR 10-2012-00256661.一种感光晶体管，包括∶栅极层；栅绝缘层，在所述栅极层上；沟道层，在所述栅绝缘层上；蚀刻停止层，在所述沟道层的部分区域上；源极和漏极，在所述沟道层上并彼此分离开，其中所述蚀刻停止层插置在所述源极和所述漏极之间；以及钝化层，覆盖所述源极、所述漏极和所述蚀刻停止层，其中所述源极与所述蚀刻停止层分离开，其中所述沟道层的相应于所述源极与所述蚀刻停止层之间的空间的区域具有比沟道层的任何其他区域高的电导率。2.如权利要求1所述的感光晶体管，其中所述源极和所述漏极由透明电极材料形成。3.如权利要求1所述的感光晶体管，其中所述源极和所述漏极由金属材料形成。4.如权利要求1所述的感光晶体管，其中所述漏极与所述蚀刻停止层分离开。5.如权利要求4所述的感光晶体管，其中所述沟道层的相应于所述源极与所述蚀刻停止层之间的空间的区域以及所述沟道层的相应于所述漏极与所述蚀刻停止层之间的空间的区域具有比沟道层的任何其他区域高的电导率。6.如权利要求4所述的感光晶体管，其中所述源极和所述漏极由透明电极材料形成。7.如权利要求4所述的感光晶体管，其中所述源极和所述漏极由金属材料形成。8.如权利要求1所述的感光晶体管，其中所述沟道层由包括从铟(In)、镓(Ga)、锌(Zn)、铝(Al)及其组合中选择出的至少一个的氧化物形成。9.如权利要求1所述的感光晶体管，其中所述沟道层由半导体材料形成。10.一种光学触摸显示面板，包...

【专利技术属性】
技术研发人员：田尚勋，宋利宪，安承彦，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：