【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种鳍式晶体管的形成方法，其特征在于，包括：提供基底，所述基底表面形成有多个鳍部，所述鳍部顶部表面具有阻挡层；在基底表面形成覆盖所述鳍部的第一覆盖层；平坦化所述第一覆盖层直至暴露出阻挡层；在所述阻挡层和所述第一覆盖层表面、采用沉积工艺形成第二覆盖层；刻蚀所述第二覆盖层和第一覆盖层，形成伪栅。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：洪中山，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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