【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种轧制加工高纯度、高致密度钼合金靶材的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)混粉:将Mo粉与金属族群Nb、Ta、W、Cr、Ti、Zr、Hf、V、Co中的至少一种金属元素按比例称量后,用混料机混合均匀,Mo与添加元素的重量比例范围在99:1~40:60之间;?(2)压块:将混合均匀的粉料通过冷等静压或油压机模压成块,压力100~200MPa;(3)预烧还原:将压坯在流动氢气气氛烧结炉内进行预烧还原,预烧温度1200~1300℃,保温时间2~8h;(4)真空处理:将预烧还原的坯料在真空炉内进行真空处理,要求真空炉真空度达到1×10?3Pa,真空处理温度1500~1800℃;(5)整形:将真空处理后坯料用铣床进行整形加工,整型成合适的尺寸,要求表面粗糙度不大于Ra?12.5;(6)热等静压用包套加工:选用不锈钢、碳钢或钛作为包套材料,按图纸加工成所需形状尺寸,然后用氩弧焊机或等离子焊机焊接包套体;(7)包套装料:将整形加工后预烧坯料装入热等静压用包套,要求任意一侧包套内壁跟与之相邻的坯料之间的间隙不大于1.5mm;(8)包套脱气封焊:脱气温度400~600℃,真空度达1×10?2Pa ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王铁军,林同伟,周卫华,王广达,刘国辉,熊宁,陈飞雄,徐克玷,
申请(专利权)人:安泰科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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