用于传导垫的保护层及其形成方法技术

技术编号:9144500 阅读:170 留言:0更新日期:2013-09-12 05:53
本发明专利技术涉及用于传导垫的保护层及其形成方法。在一个实施例中,一种形成半导体器件的方法包括在衬底上方形成金属线以及在金属线的顶部表面上方沉积合金化材料层。该方法进一步包括通过将合金化材料层与金属线组合而形成保护层。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体器件,包括:设置在衬底上方的金属线,该金属线包括金属原子,金属线的顶部表面的部分具有接触区域;以及设置在接触区域上的保护层,该保护层包括所述金属原子,该保护层是与金属线不同的材料。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:R恩格尔S亨内克N迈斯D梅因霍尔德HJ蒂默N乌班斯基A瓦特
申请(专利权)人:英飞凌科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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