【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半导体器件,包括:设置在衬底上方的金属线,该金属线包括金属原子,金属线的顶部表面的部分具有接触区域;以及设置在接触区域上的保护层,该保护层包括所述金属原子,该保护层是与金属线不同的材料。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:R恩格尔,S亨内克,N迈斯,D梅因霍尔德,HJ蒂默,N乌班斯基,A瓦特,
申请(专利权)人:英飞凌科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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