【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置，该混合装置有两个制程气体进入口及一个气体引出出口，通过内置气体隔板的设置使气体流通路径变长，而在此路径中两种制程气体充分混合。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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