在真空腔室（5）的防附着板（3）和闸门（4）的被蒸镀蒸镀颗粒的表面的至少一部分上设置有能够从防附着板（3）和闸门（4）剥离的薄膜（7），薄膜（7）包含熔点、升华点、相对于规定溶剂的溶解特性、相对于微生物的生物降解性、和光分解特性中的至少一个与在薄膜（7）上形成的蒸镀膜不同的材料。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：园田通，川户伸一，井上智，桥本智志，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。