【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种探针测试装置,其特征在于,包括:主体固定座,在牵引装置的带动下可移动;光电开关,安装于所述主体固定座上,所述光电开关接收的光通量小于阈值时,发出停止信号以控制所述主体固定座停止移动;弹性支架,固定于所述主体固定座上,所述弹性支架上设有凸起的遮光块,所述遮光块位于所述光电开关接收光照的光路边缘;及探针,设于所述弹性支架远离所述主体固定座的一端;其中,所述弹性支架沿所述探针的延伸方向可产生弹性形变,并带动所述遮光块遮挡所述光电开关的光路,以使所述光电开关接收的光通量产生变化。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:谭艳萍,黄俊华,王星,宋福民,高云峰,
申请(专利权)人:深圳市大族激光科技股份有限公司,深圳市大族数控科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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