【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种机器视觉滤光片的制作方法,其特征在于步骤如下:A、切割:将玻璃基片按照设备的要求尺寸进行切割,其中玻璃基片采用无色玻璃基片;B、清洗:将切割后的玻璃基片放入纯水中浸泡,并使用超声波进行振荡清洗;C、干燥:使用风干的方式对清洗后的玻璃基片进行干燥;D、镀制主膜:将玻璃基片放入镀膜腔室中,将镀膜腔室的真空度抽至0.003Pa,玻璃基片温度预热至320℃后,开启工艺气体和霍尔离子源,采用离子束辅助电子束蒸发镀膜工艺进行主膜的镀制;E、镀制副膜:镀制好主膜后,使用与步骤D中相同的工艺在玻璃基片的另一面镀制副膜;F、后处理:使用内圆切割机对镀膜完毕的玻璃基片进行磨边处理。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:韩秀峰,朱凯敏,
申请(专利权)人:上海梅轩实业有限公司,
类型:发明
国别省市:
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