压电装置的制造方法以及压电装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种压电装置的制造方法及压电装置。压电装置的制造方法包括：接合工序(S131)，将压电晶片与第1晶片予以接合；以及准备工序(S132)，分别准备第1端子遮罩与第2端子遮罩，第1端子遮罩用于形成在底面上形成的电源用的及振动频率的输出用的一对热端子，第2端子遮罩用于形成一对热端子及接地用的接地端子。而且，制造方法包括：选择工序(S141)，在接合工序后，选择第1晶片的底面上的、第1端子遮罩的配置与第2端子遮罩的配置；以及形成工序(S142、S143、S144)，在选择工序后，经由第1端子遮罩而形成具有电源端子及输出端子的底面，或者，经由第2端子遮罩而形成具有电源端子、输出端子及接地端子的底面。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压电装置的制造方法，其特征在于，包括：准备形成有多个压电振动元件的压电晶片的工序，所述压电振动元件具有压电片及外框，所述压电片具有一对激振电极，所述外框以包围所述压电片的方式形成，所述外框包含从所述激振电极引出的一对引出电极；准备第1晶片的工序，所述第1晶片包含绝缘材，所述第1晶片形成有多个第1容器体以及多个贯穿孔，所述第1容器体包括：与所述压电振动元件的一方的主面接合的第1接合面、及所述第1接合面的相反侧的底面，所述多个贯穿孔在相邻的所述第1容器体的共用边上、从所述第1接合面贯穿至所述底面为止；接合工序，将所述压电晶片与所述第1晶片予以接合；分别准备第1端子遮罩与第2端子遮罩的工序，所述...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：水泽周一，高桥岳宽，
申请(专利权)人：日本电波工业株式会社，
类型：发明
国别省市：