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压电装置的制造方法以及压电装置制造方法及图纸
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文档序号:9062222
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本发明提供一种压电装置的制造方法及压电装置。压电装置的制造方法包括:接合工序(S131),将压电晶片与第1晶片予以接合;以及准备工序(S132),分别准备第1端子遮罩与第2端子遮罩,第1端子遮罩用于形成在底面上形成的电源用的及振动频率的输出...
该专利属于日本电波工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电波工业株式会社授权不得商用。
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