下载压电装置的制造方法以及压电装置的技术资料

文档序号:9062222

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本发明提供一种压电装置的制造方法及压电装置。压电装置的制造方法包括:接合工序(S131),将压电晶片与第1晶片予以接合;以及准备工序(S132),分别准备第1端子遮罩与第2端子遮罩,第1端子遮罩用于形成在底面上形成的电源用的及振动频率的输出...
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