排气装置以及真空设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术揭示了一种排气装置，设置于真空泵与排气管路之间，所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管，所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空泵。本实用新型专利技术还揭示了一种真空设备，包括真空泵、与所述真空泵相连通的排气管路以及所述的排气装置。本实用新型专利技术中的所述排气装置可以防止液体回流进入真空泵，并且可以方便地对液体进行收集和处理。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空排气
，特别是涉及一种排气装置以及真空设备。
技术介绍
目前，在干法刻蚀等真空设备中，刻蚀前，需要通过真空泵先对真空设备进行抽真空，并通过排气管路将气体排出。在现有技术中，如图1所示，在真空设备100中，所述真空泵Iio用于抽真空，所述真空泵110位于所述排气管路120的下方，所述排气管路120为直管型，所述真空泵110将抽出的气体从所述排气管路120排出。但是，在干法刻蚀过程中，反应腔中的反应气体会使用到六氟化硫(SF6)等特殊气体，以对待刻膜层进行刻蚀工艺。在所述反应腔中，六氟化硫(SF6)等特殊气体会解离为F+等离子体，以对待刻膜层进行刻蚀反应。然而，所述反应腔中通入的六氟化硫是过量的，所以，未反应F+等离子体被所述真空泵110抽出后，会顺着所述排气管路120排出，图1中的虚线箭头方向为气体的排出方向。但在F+从所述排气管路120的上方的排气口排出前，F+会和所述排气管路120中水汽反应产生氢氟酸液体121。因为现有的所述排气管路120为直管型，所述氢氟酸液体121由于重力作用，会直接回流进入所述真空泵110，图1中的实线箭头方向为所述氢氟酸液体121的回流方向。由于所述氢氟酸液体121具有强酸性，会对所述真空泵110产生腐蚀作用，从而导致所述真空泵110使用寿命的降低。因此，如何提供一种排气装置，可以防止氢氟酸等液体回流进入真空泵，并且可以方便地对液体进行收集和处理，已成为本领域技术人员需要解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种排气装置以及真空设备，可以防止液体回流进入真空泵，并且可以方便地对液体进行收集和处理。为解决上述技术问题，本技术提供一种排气装置，设置于真空泵与排气管路之间，所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管，所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通 ，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空栗。进一步的，在所述排气装置中，所述缓存区为一端开口的直管，所述缓存区的开口正对所述第一口，所述气体传输管为一弯管，所述气体传输管的一端从所述缓存区的侧壁引出并连通所述缓存区的内腔，所述第二口与所述第一口的开口方向相反。进一步的，在所述排气装置中，所述气体传输管为U形。进一步的，在所述排气装置中，所述第二口的中心轴线与所述缓存区的中心轴线位于同一条直线上。进一步的，在所述排气装置中，所述排气装置还包括可拆卸的波纹管，所述气体传输管包括第一部分和第二部分，所述波纹管的两端连接分别连接所述气体传输管的第一部分和第二部分，与所述气体传输管共同形成一个管道整体。根据本技术的另一面，本技术还提供一种真空设备，包括真空泵和与所述真空泵相连通的排气管路，所述真空设备还包括所述的排气装置。进一步的，在所述真空设备中，所述缓存区为一端开口的直管，所述缓存区的开口正对所述第一口，所述气体传输管为一弯管，所述气体传输管的一端从所述缓存区的侧壁引出并连通所述缓存区的内腔，所述第二口与所述第一口的开口方向相反。进一步的，在所述真空设备中，所述气体传输管为U形。进一步的，在所述真空设备中，所述第二口的中心轴线与所述缓存区的中心轴线位于同一条直线上。进一步的，在所述真空设备中，所述排气装置还包括可拆卸的波纹管，所述气体传输管包括第一部分和第二部分，所述波纹管的两端连接分别连接所述气体传输管的第一部分和第二部分，与所述气体传输管共同形成一个管道整体。与现有技术相比，本技术提供的排气装置以及真空设备具有以下优点:1、本技术提供一种排气装置以及真空设备，该排气装置的所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空泵，与现有技术相比，在所述排气管路中形成的液体回流时，由于重力作用，所述液体会直接回流进入所述缓存区，可以防止所述液体回流进入真空泵，并且，所述排气装置安装于所述真空泵与排气管路之间，可以通过拆卸所述排气装置对液体进行收集和处理，方便易实施。2、本技术提供一种排气装置以及真空设备，所述第二口的中心轴线与所述缓存区的中心轴线位于同一条直线上，使得该排气装置可以与现有的真空设备整合在一起，改造成本低，应用范围 广。3、本技术提供一种排气装置以及真空设备，该排气装置还包括可拆卸的波纹管，使得所述排气装置的安装拆卸快捷简单，进一步地方便对液体的收集和处理，避免液体的泄露。附图说明图1为现有技术中的真空设备的示意图；图2为本技术一实施例的排气装置的示意图；图3为本技术一实施例的排气装置中气体传输管的示意图；图4为本技术又一实施例的排气装置的示意图；图5为本技术另一实施例的排气装置的示意图；图6为本技术一实施例的真空设备的示意图。具体实施方式下面将结合示意图对本技术的排气装置以及真空设备进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。本技术的核心思想在于，本技术提供一种排气装置，设置于真空泵与排气管路之间，所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管，所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空泵，当气体流经所述排气管路时，形成的液体回流，由于重力作用，所述液体直接回流进入所述缓存区，可以防止所述液体回流进入真空泵。进一步，结合上述排气装置，本技术还提供了一种真空设备，包括真空泵和与所述真空泵相连通的排气管路，所述真空设备还包括所述的排气装置。以下结合图2具体说明本实施例的排气装置，图2为本技术一实施例的排气装置的示意图。如图2所示，所述排气装置200包括用于连接排气管路的第一口 210、用于连接真空泵的第二口 220、用于存储液体的缓存区230以及气体传输管240。所述缓存区230正对所述第一口 210，使得通过所述第一口 210进入的回流液体能够通过重力作用直接进入所述缓存区230，而不会通过所述气体传输管240流到所述第二口 220，从而避免所述液体回流至所述真空泵。所述气体传输管240的一端与所述第一口 210连通，所述气体传输管240的另一端与所述第二口 220连通，以使得气体可以通过所述气体传输管240从所述真空泵流入所述排气管路，所述气体传输管240的结构参见图3。所述排气装置200安装于所述真空泵与排气管路之间，可以通过拆卸所述排气装置200对液体进行收集和处理，方便易实施。较佳的，所述缓存区230为一端开口的直管，所述缓存区230的开口正对所述第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种排气装置，设置于真空泵与排气管路之间，其特征在于，所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管，所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空泵。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：申劲浩，李建兴，何宁，
申请(专利权)人：成都天马微电子有限公司，天马微电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：