温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型揭示了一种排气装置，设置于真空泵与排气管路之间，所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管，所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口...该专利属于成都天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司授权不得商用。