搬运机器人制造技术

本发明专利技术涉及搬运机器人。根据实施方式的一方面的机器人系统包括隔热构件和多个工件保持单元。这些工件保持单元均在一个表面上保持待搬运的工件并且在一些情况下在搬运所述工件期间竖向叠置地布置。所述隔热构件被设置在所述工件保持单元中的至少一个工件保持单元的另一表面侧。

【技术实现步骤摘要】

本文所讨论的实施方式涉及搬运机器人。
技术介绍
常规地，已知一种搬运机器人，该搬运机器人在形成于所谓的EFEM (设备前端模块)的局部清洁设备中的空间内在半导体制造过程中将基板(例如，晶片)搬入或搬出处理设备。搬运基板的搬运机器人总体上包括设置有保持单元的臂，所述保持单元在其末端保持基板并且在保持该基板(例如将基板放置在该保持单元的上表面上)的同时通过沿水平方向操作臂以及保持单元来搬运基板。这种搬运机器人的示例包括这样的搬运机器人，该搬运机器人包括多个保持单元并且通过单独操作保持单元而将平行的多个基板搬运到彼此平行的平面上(例如，参见日本专利特开公报2007-005582)。半导体制造过程包括加热基板的处理，例如，烘烤处理。因此，包括多个保持单元的搬运机器人在一些情况下需要与由保持单元搬运处理后的高温基板的操作并行地执行由另一保持单元搬运处理前的室温基板的操作。然而，在包括多个保持单元的常规搬运机器人中，在一些情况下，另一保持单元不利地受到从在搬运高温基板期间的保持单元辐射的辐射热或者从搬运期间的受热基板辐射的辐射热的影响。例如，当搬运高温基板的保持单元以及搬运室温基板的保持单元被设置成使它们彼此竖向靠近的位置关系时，搬运室温基板的保持单元能够不利地受到从搬运高温基板的保持单元辐射的辐射热或者从搬运期间的受热基板辐射的辐射热的影响。实施方式的一方面鉴于前述被实现，并且实施方式的一方面的目的在于提供一种搬运机器人，该搬运机器人能够降低从搬运高温基板的保持单元辐射的辐射热或者从在另一保持单元上搬运期间的受热基板辐射的辐射热的不利影响。
技术实现思路
根据实施方式的一方面的机器人系统包括隔热构件和多个工件保持单元。这些工件保持单元均在一个表面上保持待搬运的工件并且在一些情况下在搬运所述工件期间竖向叠置地布置。所述隔热构件被设置在所述工件保持单元中的至少一个工件保持单元的另一表面侧上。根据实施方式的一方面，可以提供这样一种搬运机器人，该搬运机器人能够降低从搬运高温基板的保持单元辐射的辐射热或 者从在另一保持单元上搬运期间的受热基板辐射的辐射热的不利影响。附图说明结合附图，参考下面的详细说明，能够容易地获得并更好地理解对本专利技术的更全面的认识以及本专利技术的许多附带优点，在附图中:图1是示出根据第一实施方式的搬运系统的总体构造的示意图；图2是示出根据第一实施方式的搬运机器人的构造的示意图；图3是根据第一实施方式的下部手的示意性立体图；图4是根据第一实施方式的上部手的示意性立体图；图5是示出根据第一实施方式的隔热板的形状的示意性立体图；图6是示出根据第一实施方式的搬运机器人的姿势的示例的示意性侧视图；图7是包括除了根据第一实施方式的隔热板之外的隔热构件的搬运机器人的示意性侧视图；图8是根据第一实施方式的搬运机器人的示意性侧视图，所述搬运机器人在下段侧设置有用于高温的手并且在上段侧设置有用于低温的手；以及图9和图10是根据第二实施方式的搬运机器人的示意性俯视图。具体实施例方式在下文中，将参考附图详细地解释在本申请中公开的包括搬运机器人的搬运系统的实施方式。本专利技术不局限于下列实施方式。在下文中，对以下情况进行说明，其中，作为待搬运对象的工件是基板，并且该基板是半导体晶片，并且“半导体晶片”被描述为“晶片”。此外，作为末端执行器的“机器人手”被描述为“手”。 (第一实施方式)首先，将参考图1说明根据第一实施方式的搬运系统的总体构造。图1是示出根据第一实施方式的搬运系统I的总体构造的示意图。为了便于理解，在图1中，示出了三维笛卡尔坐标系，该三维笛卡尔坐标系包括其中正向竖直向上并且负向竖直向下(即，“竖直方向”)的Z轴。因此，沿着XY平面的方向表示“水平方向”。在一些情况下在用于下列说明的其他附图中示出了该笛卡尔坐标系。此外，在下文中，对于包括多个元件的部件，仅其中一个元件用附图标记表示，并且在一些情况下省略了其他元件的附图标记。如图1所示，根据第一实施方式的搬运系统I包括基板搬运单元2、基板供给单元3和基板处理单元4。基板搬运单元2包括搬运机器人10和容纳该搬运机器人10的外壳20。基板供给单元3设置在外壳20的一个侧表面21上，并且基板处理单元4设置在另一个侧表面22上。搬运系统I包括安装表面100。搬运机器人10包括臂单元12，该臂单元包括工件保持单元(在下文中被描述为“手”)11，该工件保持单元能够在上下两段处保持作为待搬运对象的晶片W。臂单元12被支承为相对于设置在基座安装框架23上的基座13能够升起和降下并且此外能够沿水平方向枢转，所述该基座安装框架23形成外壳20的底壁部。将在下文参考图2详细地描述搬运机器人10。外壳20是所谓的EFEM，并且借助设置在上部中的过滤器单元24来形成清洁空气的向下流。外壳20的内部由该向下流保持在高清洁状态。腿部25设置在基座安装框架23的下表面上，并且在外壳20与安装表面100之间设置有预定间隙C的状态下支承该外壳20。基板供给单元3包括环箍30和环箍打开器(未示出)，所述环箍30沿高度方向以多段的方式存放多个晶片W，所述环箍打开器开闭所述环箍30的盖，以能够将晶片W从外壳20移除以及搬运到该外壳20中。能够在具有预定高度的台31上以预定间隔平行地设置多组环箍30和环箍打开器。基板处理单元4例如是这样的处理单元，该处理单元在半导体制造过程中对晶片W执行预定处理，例如清洁处理、膜沉积处理和光刻处理。基板处理单元4包括处理设备40，该处理设备执行预定处理。处理设备40设置在外壳20的与基板供给单元3对置的另一个侧表面22上，其中搬运机器人10位于该基板供给单元和处理设备40之间。此外，在外壳20中设置有预对准设备26，该预对准设备执行晶片W的对中和刻痕对准。接着，根据第一实施方式的搬运系统I使得搬运机器人10借助执行提升操作和枢转操作来移除环箍30中的晶片W，并且基于该构造借助预对准设备26将该晶片W搬运到处理设备40中。接着，在处理设备40中经受预定处理的晶片W被再次搬出并且借助搬运机器人10的操作被搬运以再次容纳到环箍30中。接下来，将参照图2来说明根据第一实施方式的搬运机器人10的构造。图2是示出根据第一实施方式的搬运机器人10的构造的示意图。如图2所示，根据第一实施方式的搬运机器人10包括手11、臂单元12和基座13。臂单元12包括提升单元12a、关节12b、关节12d、关节12f、第一臂12c以及第二臂12e。如上所述，基座13是设置在基座安装框架23 (参见图1)上的搬运机器人10的基础单元。提升单元12a 设置成能够从基座13沿竖直方向(Z轴方向)滑动(参见图2中的双头箭头a0)，并且沿竖直方向升起以及降下臂单元12。关节12b是绕轴线al的旋转关节(参见图2中的绕轴线al的双头箭头)。第一臂12c借助关节12b连接到提升单元12a，以能够相对于提升单元12a旋转。此外，关节12d是绕轴线a2的旋转关节(参见图2中的绕轴线a2的双头箭头)。第二臂12e借助关节12d连接到第一臂12c，以能够相对于第一臂12c旋转。此外，关节12f是绕轴线a3的旋转关节(参见图2中的绕轴线a3的双头箭头)。手11借助关节12f连接到第二臂12e，以能够相对于第二臂12e旋转。此本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种搬运机器人，所述搬运机器人包括：多个工件保持单元，这些工件保持单元均在一个表面上保持待搬运的工件并且在一些情况下在搬运所述工件期间竖向叠置地布置；以及隔热构件，所述隔热构件设置在所述工件保持单元中的至少一个工件保持单元的另一表面侧。

【技术特征摘要】
2012.01.26 JP 2012-0143881.一种搬运机器人，所述搬运机器人包括: 多个工件保持单元，这些工件保持单元均在一个表面上保持待搬运的工件并且在一些情况下在搬运所述工件期间竖向叠置地布置；以及 隔热构件，所述隔热构件设置在所述工件保持单元中的至少一个工件保持单元的另一表面侧。2.根据权利要求1所述的搬运机器人，其中，所述隔热构件是隔热板，所述隔热板具有与所述工件保持单元的所述另一表面相同的形状，并且所述隔热板设置成在俯视时与所述工件保持单元重叠。3.根据权利要求2所述的搬运机器人，其中，所述隔热板与所述工件保持单元的所述另一表面隔开预定间隔。4.根据权利要求1所述的搬运机器人，其中，所述隔热构件是涂覆在所述工件保持单元的所述另一表面上的隔热树脂。5.根据权利要求1至4中任一项所述的搬运机器人，其中: 这些工件保持单元设置在臂的末端侧，以能够绕同一旋转轴线旋转，并且所述工件保持单元均在其上表面上保持所述工件并且搬运所述工件；并且 当搬运处于高于室温的温度下的工件的高温工件保持...

【专利技术属性】
技术研发人员：安藤隆治，日野一纪，古谷彰浩，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：