具有光导涂层的照明设备制造技术

本公开提供了用于通过使用光导来散布光从而提供照明的系统、方法和装置。在一个方面，光导包括光学透射支撑层（129）上方的光转向膜（128）。在一些实现中，光转向膜可由以液体沉积的材料形成。在一些实现中，光转向膜可由光可限定的材料形成，其可以是玻璃（诸如旋涂式玻璃）、或者可以是聚合物。在一些其他实现中，该玻璃不是光可限定的。该光转向膜可具有限定光转向特征的凹槽（131），并且可在这些凹槽上方形成保护层。该保护层也可由玻璃材料（诸如旋涂式玻璃）形成。该光导膜中的光转向特征可被配置成将光重定向到该光导外部。在一些实现中，该重定向的光可被应用于照明显示器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及具有光导以散布光的照明设备，包括用于显示器的照明装置，并且本公开涉及机电系统。相关技术描述机电系统(EMS)包括具有电气及机械元件、致动器、换能器、传感器、光学组件(例如，包括镜子)以及电子器件的设备。机电系统可以在各种尺度上制造，包括但不限于微米尺度和纳米尺度。例如，微机电系统(MEMS)器件可包括具有范围从大约一微米到数百微米或以上的大小的结构。纳米机电系统(NEMS)器件可包括具有小于一微米的大小(包括，例如小于几百纳米的大小)的结构。机电元件可使用沉积、蚀刻、光刻和/或蚀刻掉基板和/或所沉积材料层的部分或添加层以形成电气及机电器件的其它微机械加工工艺来制作。一种类型的机电系统器件被称为干涉测量(interferometric)调制器(IM0D)。如本文所使用的，术语干涉测量调制器或干涉测量光调制器是指使用光学干涉原理来选择性地吸收和/或反射光的器件。在一些实现中，干涉测量调制器可包括一对导电板，这对导电板中的一者或两者可以是完全或部分透明的和/或反射性的，且能够在施加恰适电信号时进行相对运动。在一实现中，一块板可包括沉积在基板上的静止层，而另一块板可包括与该静止层相隔一气隙的反射膜。一块板相对于另一块板的位置可改变入射在该干涉测量调制器上的光的光学干涉。干涉测量调制器器件具有范围广泛的应用，且预期将用于改善现有产品以及创造新产品，尤其是具有显示能力的那些产品。经反射的环境光被用于在一些显示设备中形成图像，诸如使用由干涉测量调制器形成的像素的那些图像。这些显示器的感知亮度取决于朝观察者反射的光的量。在低环境光状况下，来自人造光源的光被用于照明反射式像素，这些像素随后朝观察者反射光以生成图像。为了满足市场需求和设计准则，正不断开发新的照明设备以满足显示设备(包括反射式和透射式显示器)的需要。概述本公开的系统、方法和设备各自具有若干个创新性方面，其中并不由任何单个方面全权负责本文中所公开的期望属性。本公开中所描述的主题内容的一个创新性方面可实现在照明系统中。该照明系统包括光导，该光导具有:光学透射支撑层；以及该支撑层上的光转向膜。该光转向膜能液相沉积于该支撑层上。在该光转向膜的主表面上的凹槽中形成多个光转向特征。该光转向膜可由玻璃材料形成。该玻璃可以是旋涂式玻璃。在一些实现中，该旋涂式玻璃可以是光可限定的。在一些实现中，形成光转向膜的材料可以是光可限定的聚合物。本公开中所描述的主题内容的另一个创新性方面可实现在照明系统中。该照明系统包括光导，该光导包括:光学透射支撑层；以及用于容适用于光转向特征的凹槽的装置。该用于容适凹槽的装置能以液态来沉积。该用于容适凹槽的装置可以是由旋涂式玻璃或光可限定的聚合物形成的光转向膜。本公开中所描述的主题内容的又一个创新性方面可实现在用于形成照明系统的方法中。该方法包括:提供光学透射支撑层；在该支撑层上沉积液体材料以形成光转向膜；以及在该光转向膜中限定凹槽以在该光转向膜中形成多个光转向特征。沉积该液体材料可包括执行旋涂式沉积。限定这些凹槽可包括:透过光罩使该光转向膜暴露于光；以及然后使该光转向膜暴露于显影蚀刻剂以形成这些凹槽。 本说明书中所描述的主题内容的一个或多个实现的详情在附图及以下描述中阐述。其它特征、方面和优点将从该描述、附图和权利要求书中变得明了。注意，以下附图的相对尺寸可能并非按比例绘制。附图简要说明附图说明图1示出描绘了干涉测量调制器(IMOD)显示设备的一系列像素中的两个毗邻像素的等轴视图的示例。图2示出解说纳入了 3X3干涉测量调制器显示器的电子设备的系统框图的示例。图3示出解说图1的干涉测量调制器的可移动反射层位置相对于所施加电压的图示的示例。图4示出解说在施加各种共用电压和分段电压时干涉测量调制器各种状态的表的示例。图5A示出解说图2的3X3干涉测量调制器显示器中的一帧显示数据的图示的示例。图5B示出可用于写图5A中所解说的该帧显示数据的共用信号和分段信号的时序图的示例。图6A示出图1的干涉测量调制器显示器的局部横截面的示例。图6B - 6E示出干涉测量调制器的不同实现的横截面的示例。图7示出解说干涉测量调制器的制造过程的流程图的示例。图8A - SE示出制作干涉测量调制器的方法中的各个阶段的横截面示意图解的示例。图9A示出照明系统的横截面的示例。图9B示出光转向特征的横截面的示例。图10示出设有部署在光导上方的钝化层的照明系统的横截面的示例。图11示出设有光学解耦层的照明系统的横截面的示例。图12示出了反射率相对于直接位于光导上的钝化层的厚度的标绘。图13示出了反射率相对于直接位于光转向特征上的钝化层的厚度的标绘。图14示出具有多个钝化层的照明系统的横截面的示例。图15A和15B示出具有上覆钝化层的光转向特征和光导的横截面的示例。图16A和16B示出带有具有上覆图案化的钝化层的光转向特征和光导的照明系统的横截面的示例。图17示出设有多层光导的照明系统的横截面的示例。图18A-18F示出了用于制造照明系统的工艺序列中的各个阶段处的照明系统的横截面的示例。图19示出解说用于照明系统的制造过程的流程图的示例。图20A和20B示出解说包括多个干涉测量调制器的显示设备的系统框图的示例。各个附图中相似的附图标记和命名指示相似要素。详细描述以下详细描述针对旨在用于描述创新性方面的某些实现。然而，本文的教示可用众多不同方式来应用。所描述的实现可在配置成显示图像的任何设备中实现，无论该图像是运动的(例如，视频)还是不动的(例如，静止图像)，且无论其是文本的、图形的还是画面的。更具体而言，构想了这些实现可在各种各样的电子设备中实现或与各种各样的电子设备相关联，这些电子设备诸如但不限于:移动电话、具有因特网能力的多媒体蜂窝电话、移动电视接收机、无线设备、智能电话、蓝牙设备、个人数据助理(PDA)、无线电子邮件接收器、手持式或便携式计算机、上网本、笔记本、智能本、平板电脑、打印机、复印机、扫描仪、传真设备、GPS接收机/导航仪、相机、MP3播放器、摄录像机、游戏控制台、手表、钟表、计算器、电视监视器、平板显示器、电子阅读设备(例如，电子阅读器)、计算机监视器、汽车显示器(例如，里程表显示器等)、驾驶座舱控件和/或显示器、相机取景显示器(例如，车辆中的后视相机的显示器)、电子照片、电子告示牌或招牌、投影仪、建筑结构、微波炉、冰箱、立体音响系统、卡式录音机或播放器、DVD播放器、CD播放器、VCR、无线电、便携式存储器芯片、停车计时器、洗衣机、烘干机、洗衣机/烘干机、封装(例如，机电系统(EMS )、MEMS和肖_ MEMS )、美学结构(例如，关于一件珠宝的图像的显示)以及各种各样的机电系统设备。本文中的教示还可用在非显示器应用中，诸如但不限于:电子交换设备、射频滤波器、传感器、加速计、陀螺仪、运动感测设备、磁力计、用于消费者电子设备的惯性组件、消费者电子产品的部件、可变电抗器、液晶设备、电泳设备、驱动方案、制造工艺、电子测试装备。因此，这些教示无意被局限于只是在附图中描绘的实现，而是具有如本领域普通技术人员将容易明白的广泛应用性。在一些实现中，照明系统设有光导以散布光。光导可包括支撑层上的光转向膜。在一些实现中，光转向膜可由能作为液体沉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.11.16 US 61/414,328;2011.05.23 US 61/489,178;1.一种照明系统，包括: 光导，其包括: 光学透射支撑层；以及 所述支撑层上的光转向膜，所述光转向膜由能液相沉积于所述支撑层上的材料形成；以及 在所述光转向膜中的凹槽中形成的多个光转向特征。2.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述光转向膜由玻璃材料形成。3.如权利要求2所述的照明系统，其特征在于，所述玻璃是旋涂式玻璃材料。4.如权利要求2所述的照明系统，其特征在于，所述旋涂式玻璃材料是光可限定的旋涂式玻璃材料。5.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述光转向膜由光可限定的聚合物形成。6.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述支撑层和所述光转向膜具有基本匹配的折射率。7.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，所述支撑层由玻璃形成。8.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，进一步包括所述光转向膜上的光学透射钝化层。9.如权利要求8所述的照明系统，其特征在于，所述光学透射钝化层是玻璃层。10.如权利要求9所述的照明系统，其特征在于，所述玻璃层由旋涂式玻璃形成。11.如权利要求8所述的照明系统，其特征在于，所述钝化层具有约250- 330nm的厚度。12.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，进一步包括直接部署在所述凹槽的表面上的反射层。13.如权利要求12所述的照明系统，其特征在于，所述反射层形成黑色掩模，所述黑色掩模包括: 所述反射层； 所述反射层上方的光学透射间隔层；以及 所述间隔层上方的第二反射层。14.如权利要求1所述的照明系统，其特征在于，进一步包括显示器，其中所述光转向特征被配置成使光从所述支撑层发射出去并朝向所述显示器。15.如权利要求14所述的照明系统，其特征在于，所述显示器是反射式显示器。16.如权利要求14所述的照明系统，其特征在于，所述反射式显示器包括干涉测量调制器显示元件阵列。17.如权利要求14所述的照明系统，其特征在于，进一步包括: 处理器，其被配置成与所述显示器通信，所述处理器被配置成处理图像数据；以及 存储器设备，其配置成与所述处理器通信。18.如权利要求17所述的装置，其特征在于，进一步包括: 驱动器电路，其配置成将至少一个信号发送给所述显示器。19.如权利要求18所述的装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·笹川，B·W·阿拉布科勒，W·卡明斯，I·比塔，K·李，R·劳，
申请(专利权)人：高通MEMS科技公司，
类型：
国别省市：