搬运系统以及搬运方法技术方案

本发明专利技术的搬运系统为了在多个处理装置（4）间搬运物品（18）设置有通过处理装置（4）的装卸口（6）的上部的高架行驶车（12）的轨道（10）和沿高架行驶车（12）的轨道（10）行驶并具备升降机（14）的高架行驶车（12）。还设置有局域轨道（20），其被配置成比高架行驶车（12）的轨道（10）低的高度等级、至少延伸到高架行驶车（12）的轨道（10）的正下方、且俯视观察时该局域轨道朝向与高架行驶车（12）的轨道（10）成直角的方向；局域台车（22），其沿局域轨道（20）行驶并具备升降物品（18）的升降机（38）；缓冲区（26、50、60），其被配置在局域轨道（20）的下部并能够与局域台车（22）之间交接物品（18）并且至少延伸到高架行驶车（12）的轨道（10）的正下方。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及搬运系统，尤其涉及不使处理装置等待就供给搬出物品的搬运系统。
技术介绍
需要不使半导体加工装置和半导体的检查装置等的处理装置等待就将FOUP(用于搬运半导体圆晶的封闭型盒)等物品向这些装置的装卸口供给、以及从这些装置的装卸口搬出。于是，提出为了在处理装置的附近设置缓冲区并进行缓冲区与处理装置之间的搬运，而设置追加的搬运装置的方案。例如在专利文献I (JP2006-224944A)中，在高架空间平行地配置多个高架行驶车(overhead travelling vehicle)的轨道,一个用于长距离搬运,其他的用于短距离搬运。并且将缓冲区配置在长距离搬运用的轨道的正下方，将处理装置的装卸口配置在短距离搬运用的轨道的正下方。长距离搬运用的高架行驶车在缓冲区之间进行交接物品，短距离搬运用的高架行驶车在缓冲区与装卸口之间进行交接物品。然而如果这样的话，需要在处理装置的前面配置多个轨道。在专利文献2 (JP2005-150129A)中，在处理装置的前面设置具备搬运装置的缓冲区，高架行驶车在缓冲区之间进行交接物品，缓冲区内的搬运装置在装卸口之间进行交接物品。然而，在处理装置的前面设置显示运转状况的显示器和手动操作用的操作面板等并用缓冲区阻挡他们的方案不为优选。此外，装卸口不是仅使用自动搬运装置有时也用人力供给搬出物品，若用缓冲区覆盖处理装置的前面则用人力难以访问。专利文献1: JP2006-224944A 专利文献 2: JP2005-150129A
技术实现思路
本专利技术的课题在于不阻挡处理装置的前面，并且有效利用处理装置间的空着的空间来暂时保管物品。本专利技术的追加的课题在于尽可能地减小在进行缓冲区之间的交接物品时的升降量。本专利技术是为了在多个处理装置间搬运物品而具备通过处理装置的装卸口的上部的高架行驶车轨道和沿着上述高架行驶车轨道行驶并具有升降机的高架行驶车的搬运系统，该搬运系统的特征在于，具备:局域轨道，其被配置成比上述高架行驶车轨道低的高度等级，至少延伸到上述高架行驶车轨道的正下方，且俯视观察时该局域轨道朝向与上述高架行驶车轨道成直角的方向；局域台车，其沿上述局域轨道行驶并具备升降物品的升降机；以及缓冲区，其被配置在上述局域轨道的下部并能够与上述局域台车之间交接物品，并且至少延伸到上述高架行驶车轨道的正下方。在本专利技术中，将局域轨道与缓冲区配置成与高架行驶车轨道成直角，因此能够将局域轨道与缓冲区的大部分配置在处理装置间的缝隙而节省空间。在本专利技术中为了利用高架行驶车与局域台车在多个处理装置间搬运物品，设置有:高架行驶车轨道，其通过处理装置的装卸口的上部；多个高架行驶车，其沿上述高架行驶车轨道行驶并具备升降机；局域轨道，其被配置成比上述高架行驶车轨道低的高度等级，至少延伸到上述高架行驶车轨道的正下方，且俯视观察时该局域轨道朝向与上述高架行驶车轨道成直角的方向；局域台车，其沿上述局域轨道行驶并具备升降物品的升降机；以及缓冲区，其被配置在上述局域轨道的下部并能够与上述局域台车之间交接物品，并且至少延伸到上述高架行驶车轨道的正下方，为了向装卸口卸下第I物品，执行:第I高架行驶车向上述缓冲区的高架行驶车轨道的正下方的第I位置卸下第I物品的步骤；接下来，上述局域台车从上述第I位置向上述缓冲区的第2位置搬运第I物品的步骤；接下来，上述局域台车从上述第2位置向上述第I位置搬运第I物品的步骤；以及接下来，第2高架行驶车从上述第I位置装载第I物品并向装卸口卸下的步骤，为了从装卸口搬运第2物品，执行:第3高架行驶车从装卸口装载第2物品并向上述第I位置卸下的步骤；接下来，上述局域台车从上述第I位置向上述缓冲区的第2位置搬运第2物品的步骤；接下来，上述局域台车从上述第2位置向上述第I位置搬运第2物品的步骤；以及接下来，第4高架行驶车从上述第I位置搬出第2物品的步骤。如果这样的话，处理装置的前面就不被缓冲区阻挡而能够经由缓冲区在装卸口与高架行驶车之间交接物品。另外本专利技术是以比已设的高架行驶车系统中的高架行驶车轨道低的高度等级、在俯视观察时与高架行驶车轨道成直角的方向所加装的搬运系统，其特征在于，具备:局域轨道；局域台车，其沿上述局域轨道行驶并具备升降物品的升降机；缓冲区，其被配置在上述局域轨道的下部并能够与上述局域台车之间交接物品，上述局域轨道与上述缓冲区被配置成延伸到上述高架行驶车轨道的正下方。如果这样的话，就能够在现有的高架行驶车系统加装由局域轨道、局域台车以及缓冲区组成的系统，并且因该系统的大部分能够配置在处理装置间的缝隙所以节省空间。优选上述局域轨道的一端与上述缓冲区的一端被配置在上述高架行驶车轨道的正下方，上述局域轨道的另一端与上述缓冲区的另一端被配置在处理装置间的缝隙。如果这样的话，缓冲区的一端从处理装置间的缝隙突出，并且局域台车和高架行驶车都能够进入缓冲区的一端，局域轨道与缓冲区的其他部分被配置在处理装置间的缝隙从而节省空间。此外，优选在上述缓冲区上载置有物品时，设定上述缓冲区与上述局域轨道之间的高度等级差以便支承其他物品的局域台车能够进入所被载置的物品的上部。如果这样的话，因能够在处理装置间的缝隙设置直线状的较长的缓冲区从而能够保管多个物品。在上述缓冲区上载置有物品时，设定上述缓冲区与上述局域轨道之间的高度等级差以便支承其他物品的局域台车无法进入所被载置的物品的上部而不支承其他物品的局域台车能够进入所被载置的物品的上部。如果这样的话，在使局域轨道与缓冲区与的高度等级之差最小、高架行驶车和局域台车与缓冲区交接物品时，能够使物品的升降量最小并以较短的时间交接物品。优选上述缓冲区具备2种不同高度等级的物品的载置位置，在物品被载置在第I种载置位置时，支承其他物品的局域台车无法进入所被载置的物品的上部，而不支承物品的局域台车能够进入所被载置的物品的上部，在物品被载置在第2种载置位置时，支承其他物品的局域台车和不支承其他物品的局域台车能够进入所被载置的物品的上部，并且第I种载置位置包括高架行驶车轨道的正下方位置。如果这样的话，在局域台车与第I种载置位置之间交接物品的情况下，升降量较小、且高架行驶车也能够与缓冲区之间以较小的升降量交接物品。而且能够设置多个第2种载置位置，因此能够增加保管物品的个数。优选上述局域轨道由左右一对导轨组成，并且上述一对导轨间的间隙比与导轨的长边方向在水平面内成直角方向上的物品的长度大。如果这样的话，物品能够通过一对导轨间的间隙，因此高架行驶车能够向缓冲区的局域轨道的正下方位置交接物品。附图说明图1是实施例的搬运系统的主要部位俯视图。 图2是实施例的搬运系统的主要部位的侧视图。 图3是表示局域台车的构造的主视图。 图4是变形例的局域台车的主视图。 图5是变形例的搬运系统的主要部位侧视图。 图6是第2变形例的搬运系统的主要部位侧视图。 图7是表示实施例中的从高架行驶车向装卸口卸下的算法的流程图。 图8是表示实施例中从装卸口向高架行驶车装载的算法的流程图。具体实施例方式下面示出用于实施本专利技术的最佳实施例。应该基于权利要求书的记载、参考说明书的记载与本领域的公知技术以及根据本领域技术人员的理解来决定本专利技术的范围。 实施例在图1 图8中表不实施例的搬运系统及其变形。在各图中，2为搬运本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：太田达司，福岛正纯，伊藤靖久，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：
国别省市：