【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种蒸镀遮罩，以及应用该遮罩的系统和采用该蒸镀遮罩进行材料提纯的方法。
技术介绍
蒸镀工艺被广泛应用于电子器件的生产过程，例如有机电致发光器件(0LED)，而在有机电致发光显示器或者OLED照明面板中，各个有机发光单元就是以蒸镀工艺所制成。通常是在一基板上(例如是玻璃)设置由氧化铟锡(indium tin oxide, ITO)等透明电极所构成的阳极，以及铝、镁或钙合金等低功函数的金属电极所构成的阴极，在两个电极之间一次沉积有机功能层和发光层等有机材料；其中，该有机发光层与金属电极均采用蒸镀方法形成。传统的镀膜设备大多是采用单点蒸镀源技术，其材料利用率仅5%，换言之，100公克的有机发光材料进入使用单点蒸镀源技术的设备后，将只有5公克可真正被应用到AMOLED面板中， 而剩下的95%材料则在制程中被浪费掉，对面板厂而言无疑是增加成本。有鉴于此，有必要提供一种新型的蒸镀遮罩。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种，不仅可以控制蒸镀材料的辐射角度，还可以对蒸镀材料进行提纯并二次回收，节约材料。为了实现上述目的，本申请提供的技术方案如下:一种蒸镀遮罩，配...
【技术保护点】
一种蒸镀遮罩，配置于蒸镀源和基板之间，其特征在于，包括：管状的主体部，包括一开口部；部分遮挡所述开口部的遮挡部，用以控制来自蒸镀源的蒸发物质在开口部的辐射角度。
【技术特征摘要】
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