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本发明公开了一种蒸镀遮罩，配置于蒸镀源和基板之间，包括：管状的主体部，包括一开口部；部分遮挡所述开口部的遮挡部，用以控制来自蒸镀源的蒸发物质在开口部的辐射角度。本发明还公开了一种蒸镀系统及材料的提纯方法。本发明的蒸镀遮罩，不仅可以控制蒸镀材...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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