有机层沉积装置、有机发光显示装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种有机层沉积装置、有机发光显示装置及其制造方法。该有机层沉积装置包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，布置在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴；图案缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地布置并包括多个图案缝隙；静电吸盘，基底能够附于静电吸盘并能够从静电吸盘拆卸；吸盘移动构件，与静电吸盘组合并被构造为使静电吸盘移动；以及引导构件，引导吸盘移动构件的移动，吸盘移动构件包括第一磁力发生器，引导构件包括与第一磁力发生器对应的第二磁力发生器，吸盘移动构件由于第一磁力发生器和第二磁力发生器产生的磁力而能够在引导构件上移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施例的多个方面涉及一种有机层沉积装置、一种通过使用该有机层沉积装置制造有机发光显示装置的方法以及一种有机发光显示装置。
技术介绍
与其它显示装置相比，有机发光显示装置具有更大的视角、更好的对比度性能和更快的响应速度，因此有机发光显示装置作为下一代显示装置而备受关注。通常，有机发光显示装置具有堆叠结构，该堆叠结构包括阳极、阴极及置于阳极和阴极之间的发射层。当分别从阳极和阴极注入的空穴和电子在发射层复合而因此发射光时，该装置显示彩色图像。然而，使用这种结构难以实现高的发光效率。因此，可在发射层和每个电极之间额外地设置包括电子注入层、电子传输层、空穴传输层、空穴注入层等的中间层。
技术实现思路
根据本专利技术实施例的多个方面，有机层沉积装置易于制造，并且该有机层沉积装置可简单应用于大规模制造大尺寸的显示装置，提高生产产率和沉积效率，并且具有改进的基底传送的精确度。根据本专利技术实施例的另外方面，提供了一种通过利用上述的有机层沉积装置制造的有机发光显示装置的制造方法以及一种有机发光显示装置。根据本专利技术的实施例，一种用于在 基底上形成有机层的有机层沉积装置包括:沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，布置在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴；图案缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地布置并包括多个图案缝隙；静电吸盘，基底能够附于静电吸盘并能够从静电吸盘拆卸；吸盘移动构件，与静电吸盘组合并被构造为使静电吸盘移动；以及引导构件，引导吸盘移动构件的移动。吸盘移动构件包括第一磁力发生器。引导构件包括与第一磁力发生器对应的第二磁力发生器。吸盘移动构件由于第一磁力发生器和第二磁力发生器产生的磁力而能够在引导构件上移动。基底与图案缝隙片分隔开，并且基底和图案缝隙片中的至少一个能够相对于另一个移动。图案缝隙片在第一方向或垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上小于基底。第一磁力发生器中的每个可包括位于吸盘移动构件中的一个吸盘移动构件的表面上的多个磁体。在磁体轨道中，磁体可沿布置成行并且所述多个磁体中的相邻的磁体具有不同的极性。所述多个磁体可包括电磁体、永磁体或超导磁体。第二磁力发生器中的每个可包括:多个磁辊，与磁体轨道分隔开；轴，连接所述多个磁辊；以及轴固定单元，将轴固定在引导构件上，以使轴绕着沿轴的长度方向延伸的轴旋转。所述多个磁辊可包括沿轴的长度方向螺旋缠绕的多个磁体。在所述多个磁辊中，相邻的磁体可具有不同的极性。当磁辊旋转时，磁辊产生的第一磁场可改变，以使吸盘移动构件在引导构件上移动，吸盘移动构件均包括磁体轨道。第二磁力发生器中的每个还可包括用于使轴旋转的驱动单元。第一磁力发生器中的每个可包括:多个磁辊；轴，连接所述多个磁辊；以及轴固定单元，将轴固定在引导构件上，以使轴绕着沿轴的长度方向延伸的轴旋转。所述多个磁辊可包括沿轴的长度方向螺旋缠绕的多个磁体。在所述多个磁辊中，相邻的磁体可具有不同的极性。第二磁力发生器中的每个可包括位于吸盘移动构件的表面上的多个磁体，所述多个磁棍与磁体轨道分隔开。在磁铁轨道中，磁体可沿布置成行，并且所述多个磁体中的相邻的磁体可具有不同的极性。 所述多个磁体可包括电磁体、永磁体或超导磁体。当磁辊旋转时，磁辊产生的第一磁场可改变第二磁场，第二磁场可改变，成使吸盘移动构件在引导构件上移动，吸盘移动构件均包括磁体轨道。第一磁力发生器中的每个还可包括用于使轴旋转的驱动单元。驱动单元可位于吸盘移动构件的每个上，并且与相应的吸盘移动构件一起在相应的引导构件上移动。所述有机层沉积装置还可包括位于吸盘移动构件中的每个与引导构件中的相应的弓I导构件之间的线性运动(LM)引导件。LM引导件中的每个可包括:引导块,位于吸盘移动构件中的相应的吸盘移动构件上；引导轨道，位于引导构件中的相应的引导构件上，引导块可在引导轨道上可移动。所述有机层沉积装置还可包括:装载单元，用于将基底附于静电吸盘上；以及卸载单元，用于从静电吸盘拆卸已经执行过沉积的基底。图案缝隙片可小于基底。沉积源喷嘴单元可包括沿一个方向布置的多个沉积源喷嘴，并且图案缝隙片的所述多个图案缝隙可沿垂直于所述一个方向的另一方向布置。根据本专利技术的另一实施例，一种利用所述有机层沉积装置制造的有机发光显示装置包括:基底；以及至少一个有机层，通过利用所述有机层沉积装置形成在基底上。所述至少一个有机层具有线形图案。所述至少一个有机层可包括发射层。所述至少一个有机层可包括从由空穴注入层、空穴传输层、电子传输层和电子注入层组成的组中选择的至少一层。所述至少一个有机层可具有非均匀的厚度。根据本专利技术的另一实施例，一种有机发光显示装置包括至少一个有机层，所述至少一个有机层具有非均匀的厚度并通过利用所述有机层沉积装置形成。根据本专利技术的另一实施例，一种制造有机发光显示装置的方法包括:将基底固定到静电吸盘上；将静电吸盘与吸盘移动构件结合；通过使吸盘移动构件在引导构件上移动来将静电吸盘移动到室中；以及通过使布置在室中的基底或有机层沉积组件中的至少一个相对于另一个移动来在基底上形成有机层。吸盘移动构件由于磁力而在引导构件上移动，基底与有机层沉积组件分隔开。有机层沉积组件的图案缝隙片在第一方向或垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上小于基底。吸盘移动构件中的每个可包括位于其表面上的第一磁力发生器，引导构件中的每个可包括位于其表面上且与第一磁力发生器中的一个对应的第二磁力发生器。第一磁力发生器中的每个可包括磁体轨道，磁体轨道包括多个磁体。第二磁力发生器中的每个可包括:多个磁辊，与磁体轨道分隔开；轴，连接所述多个磁辊；以及轴固定单元，将轴固定在相应的引导轨道上，以使轴绕着沿轴的长度方向延伸的轴旋转。使静电吸盘移动的步骤可包括:通过利用驱动单元产生驱动力，以使轴旋转，并且当轴旋转时，磁棍旋转以产生第一电场，并且吸盘移动构件在由于第一磁场和磁体之间的磁力而在引导构件上移动。附图说明通过参照附图来详细描述本专利技术的一些示例性实施例，本专利技术的以上和其它特征和方面将变得更加清楚，在附图中:图1是根据本专利技术实施例的有机层沉积装置的示意图；图2是根据本专利技术实施例的图1中的有机层沉积装置的静电吸盘的示意性剖视图，其中，静电吸盘具有附于其的基底；图3是根据本专利技术实施例的包括在图1中的有机层沉积装置中的第一运送单元和第一有机层沉积组件的透视图；图4是图3中的第一运送单元和第一有机层沉积组件的正视图；图5是根据本专利技术实施例的包括在图1中的有机层沉积装置中的吸盘移动构件和引导构件的透视图；图6是根据本专利技术另一实施例的包括在有机层沉积装置中的第一运送单元和第一有机层沉积组件的透视图；图7是包括在图6中的有机层沉积装置中的第一运送单元的正视图；图8是包括在图6中的有机层沉积装置中的第一运送单元的侧视图；图9是根据本专利技术实施例的包括在图6中的有机层沉积装置中的吸盘移动构件和引导构件的透视图；图10是根据本专利技术实施例的图1中的有机层沉积装置的有机层沉积组件的示意性透视图；图11是图10中的有机层沉积组件的示意性剖视侧面图；图12是图10中的有机层沉积组件的示意性剖视平面图；图13是根据本专利技术另一实施例的有机层沉积组件的示意性透视图；图14是根据本专利技术另一实施例的有机层沉积组件的示意性透视图15是根据本专利技术实施例的使用有机层沉本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于在基底上形成有机层的有机层沉积装置，所述有机层沉积装置包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，布置在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴；图案缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地布置并包括多个图案缝隙；静电吸盘，基底能够附于静电吸盘并能够从静电吸盘拆卸；吸盘移动构件，与静电吸盘组合并被构造为使静电吸盘移动；以及引导构件，引导吸盘移动构件的移动，其中，吸盘移动构件包括第一磁力发生器，其中，引导构件包括与第一磁力发生器对应的第二磁力发生器，其中，吸盘移动构件由于在第一磁力发生器和第二磁力发生器产生的磁力而能够在引导构件上移动，其中，基底与图案缝隙片分隔开，并且基底和图案缝隙片中的至少一个能够相对于另一个移动，以及其中，图案缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上小于基底。

【技术特征摘要】
2011.12.16 KR 10-2011-01365581.一种用于在基底上形成有机层的有机层沉积装置，所述有机层沉积装置包括: 沉积源，用于排放沉积材料； 沉积源喷嘴单元，布置在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴； 图案缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地布置并包括多个图案缝隙； 静电吸盘，基底能够附于静电吸盘并能够从静电吸盘拆卸； 吸盘移动构件，与静电吸盘组合并被构造为使静电吸盘移动；以及 引导构件，弓丨导吸盘移动构件的移动， 其中，吸盘移动构件包括第一磁力发生器， 其中，引导构件包括与第一磁力发生器对应的第二磁力发生器， 其中，吸盘移动构件由于在第一磁力发生器和第二磁力发生器产生的磁力而能够在引导构件上移动， 其中，基底与图案缝隙片分隔开，并且基底和图案缝隙片中的至少一个能够相对于另一个移动，以及 其中，图案缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上小于基底。2.根据权利要求1所述的有机层沉积装置，其中，第一磁力发生器中的每个包括位于吸盘移动构件中的一个吸盘移动构件的表面上的多个磁体。3.根据权利要求2所述的有机层沉积装置，其中，在磁体轨道中，磁体布置成行并且所述多个磁体中的相邻的磁体具有不同的极性。4.根据权利要求2所述的有机层沉积装置，其中，所述多个磁体包括电磁体、永磁体或超导磁体。5.根据权利要求2所述的有机层沉积装置，其中，第二磁力发生器中的每个包括: 多个磁棍，与磁体轨道分隔开； 轴，连接所述多个磁辊；和 轴固定单元，将轴固定在引导构件上，以使轴绕着沿轴的长度方向延伸的轴旋转。6.根据权利要求5所述的有机层沉积装置，其中，所述多个磁辊包括沿轴的长度方向螺旋缠绕的多个磁体。7.根据权利要求6所述的有机层沉积装置，其中，在所述多个磁辊中，相邻的磁体具有不同的极性。8.根据权利要求5所述的有机层沉积装置，其中，当磁辊旋转时，磁辊产生的第一电场改变，以使吸盘移动构件在引导构件上移动，吸盘移动构件均包括磁体轨道。9.根据权利要求5所述的有机层沉积装置，其中，第二磁力发生器中的每个还包括用于使轴旋转的驱动单元。10.根据权利要求1所述的有机层沉积装置，其中，第一磁力发生器中的每个包括: 多个磁辊； 轴，连接所述多个磁辊；和 轴固定单元，将轴固定在引导构件上，以使轴绕着沿轴的长度方向延伸的轴旋转。11.根据权利要求10所述的有机层沉积装置，其中，所述多个磁辊包括沿轴的长度方向螺旋缠绕的多个磁体。12.根据权利要求11所述的有机层沉积装置，其中，在所述多个磁辊中，相邻的磁体具有不同的极性。13.根据权利要求10所述的有机层沉积装置，其中，第二磁力发生器中的每个包括位于吸盘移动构件的表面上的包括多个磁体的磁体轨道，所述多个磁辊与磁体轨道分隔开。14.根据权利要求13所述的有机层沉积装置，其中，在磁铁轨道中，磁体布置成行，并且所述多个磁体中的相邻的磁体具有不同的极性。15.根据权利要求13所述的有机层沉积装置，其中，所述多个磁体包括电磁体、永磁体或超导磁体。16.根据权利要求13所述的有机层沉积装置，其中，当磁辊旋转时，磁辊产生的第一电场改变第二电场，并且第二电场改变，以使吸盘移动构件在引导构件上移动，吸盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：金东昱，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：