【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种蓝宝石和硅晶棒加工时使用的辅助工具，具体是指一种晶棒切割用垫条。
技术介绍
在蓝宝石与硅晶棒加工成晶片的过程中，需要经过精密切割的工序，在切割过程中，需要用到切割垫条。现有的切割垫条多为玻璃材质，且为平面结构，在晶棒切割过程即将完毕时，容易出现晶片脱落的现象，导致碎片；而且使用这类平板玻璃切割垫条时，对晶棒本身粘贴时使用粘贴胶要求较高，成本较高，使用范围具有很大的局限性。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术所要解决的技术问题是，提供一种晶棒切割垫条，通过改进结构避免晶片脱落、导致碎片现象的出现。为解决上述技术问题，本技术所采取的技术方案是，一种晶棒切割垫条，它包括垫条衬底，垫条衬底上设置U形槽。上述的晶棒切割垫条，其垫条衬底形状为长方体。上述的晶棒切割垫条，其垫条衬底底面的平面度为20um。上述的晶棒切割垫条，其U形槽的中心面的平面度为20um。上述的晶棒切割垫条，其U形槽的两侧壁高度为10mm。上述的晶棒切割垫条，其垫条衬底及U形槽的材质均采用树脂。本技术具有如下优点及有益技术效果:1、本技术的晶棒切割垫条采用长方体配合U形槽结构，能够有效防止晶棒切割过程中出现的晶片脱落、导致碎片现象的出现。2、本技术的晶棒切割垫条结构简洁合理、规格适应范围大，能够有效保证加工精度与质量。3、本技术的晶棒切割垫条采用树脂材料，生产成本低，使用效果好。附图说明图1是本技术的结构示意图；上述图中:1-垫条衬底；2-U形槽；3-中心面；4-侧壁。具体实施方式本实施例的一种晶棒切割垫条，它包括垫条衬底I，垫条衬底I上设置U形槽2 ;垫条衬底I形状为长方体；垫条...
【技术保护点】
一种晶棒切割垫条，其特征在于：它包括垫条衬底，垫条衬底上设置U形槽。
【技术特征摘要】
1.一种晶棒切割垫条，其特征在于:它包括垫条衬底，垫条衬底上设置U形槽。2.根据权利要求1所述的晶棒切割垫条，其特征在于:所述垫条衬底形状为长方体。3.根据权利要求2所述的晶棒切割垫条，其特征在于:所述垫条衬底底面的平面度为20umo4.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：李民强，
申请(专利权)人：青岛嘉星晶电科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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