【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及氧化物·薄膜制备用组合物以及使用该组合物的氧化物薄膜的制备方法。更具体而言，本专利技术涉及(I)复合氧化物薄膜制备用组合物以及使用该组合物的氧化物薄膜的制备方法(本专利技术的第一方式)、(2)氧化锌薄膜制备用组合物和掺杂氧化锌薄膜制备用组合物以及使用这些组合物的氧化锌薄膜的制备方法(本专利技术的第二方式)、(3)氧化锌薄膜制备用组合物和掺杂氧化锌薄膜制备用组合物以及使用这些组合物的氧化锌薄膜的制备方法(本专利技术的第三方式)。本专利技术的第一方式涉及可以制备对于可见光具有80%以上的平均透射率，可以与在液晶显示装置、薄膜电致发光显示装置等的开关元件(薄膜晶体管)等中利用的IGZO的氧化物半导体膜等复合的复合氧化物薄膜的复合氧化物薄膜制备用组合物，以及使用该组合物的复合氧化物薄膜的制备方法，进而使用该制备方法制作的复合氧化物薄膜。通过使用本专利技术的第一方式的复合氧化物薄膜制备用组合物，以有机锌化合物和3B元素化合物作为原料来制备，并且没有点火性、操作容易，进而用作旋涂、浸涂涂布原料或喷雾热分解涂布原料时，可以提供对于可见光具有80%以上的平均透...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：稻叶孝一，丰田浩司，羽贺健一，德留功一，吉野贤二，竹元裕仁，
申请(专利权)人：东曹精细化工株式会社，
类型：
国别省市：
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