一种钼合金靶材的制作方法技术

本发明专利技术涉及一种钼合金靶材的制作方法。其特点是，包括如下步骤：首先将钼粉和铌粉装入模具中混合，其中按重量计Mo粉：Nb粉=5～15：85～95，然后将模具放入烧结炉中升温至900～1100℃，保温60～180分钟，然后升温至1900～2200℃，保温60～180分钟，升温过程中通入氢气进行保护，在升温的同时开始加压，压力为1～3吨，当温度到达1850～2000℃时，升压到4～7吨，在2000～2200℃时保压4～7吨，直到保温结束，保温结束后降温降压，然后出炉脱模即得钼铌合金靶材。本发明专利技术提供了一种成本低廉，但质量等各方面能满足要求的制作钼-铌合金靶材的新方法，主要应用于平板显示器等领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种钥合金靶材的制作方法。
技术介绍
平面显示器的快速发展，极大地带动了钥及钥合金溅射靶材的市场需求量。但应该看到的是，迄今为止，国内由于设备和技术的限制，只有少数生产钥及钥合金溅射靶材的专业公司。国内现有的LCD面板生产线所需的钥溅射靶材仍需从国外进口。另一方面，近几年中国平板显示器制造异军突起，长三角和珠三角的平面显示行业产能基本达到世界产能的50%左右。仅2009年，长虹、TCL、京东方、三星、LG、惠普、奇美等企业加紧在中国布局，完成了 7条IXD面板生产线的建设，其中世界最先进的2条8.5带线也已经在广东落户。钥铌合金靶材市场研究表明，未来几年LCD仍将快速发展，预计LCD溅射靶材的消费量年增长率约为20% 30%，尤其是触摸屏技术的发展将会极大的带动钥及钥合金(Mo-Nb，Mo-Ta)溅射靶材的市场需求。随着经济的发展，需求量越来越大。这些都为难熔金属靶材产品在国内提供了广泛的应用空间。现有技术，尤其是专利技术中有的工序长，成本高，不容易产生经济效益。也有的工序短，成本低，但靶材质量、靶材密度可能无法满足平板显示器日益发展的需要。专利技术内容本专利技术的目本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种钼合金靶材的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：首先将钼粉和铌粉装入模具中混合，其中按重量计Mo粉：Nb粉=5～15：85～95，然后将模具放入烧结炉中升温至900～1100℃，保温60～180分钟，然后升温至1900～2200℃，保温60～180分钟，升温过程中通入氢气进行保护，在升温的同时开始加压，压力为1～3吨，当温度到达1850～2000℃时，升压到4～7吨，在2000～2200℃时保压4～7吨，直到保温结束，保温结束后降温降压，然后出炉脱模即得钼铌合金靶材。

【技术特征摘要】
1.一种钥合金靶材的制作方法，其特征在于，包括如下步骤:首先将钥粉和铌粉装入模具中混合，其中按重量计Mo粉:Nb粉=5 15:85 95，然后将模具放入烧结炉中升温至900 1100°C，保温60 180分钟，然后升温至1900 2200°C，保温60 180分钟，升温过程中通入氢气进行保护，在升温的同时开始加压，压力为I 3吨，当温度到达1850 2000°C时，升压到4 7吨，在2000 2200°C时保压...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨国启，扈百直，孙本双，王东新，钟景明，李彬，李海军，吴红，刘创红，刘兆刚，李军义，岳坤，郑金凤，孙磊，罗丹，张丽，
申请(专利权)人：宁夏东方钽业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：