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一种用于真空结晶炉保温组件的材料的生产方法技术

技术编号:8742046 阅读:271 留言:0更新日期:2013-05-29 19:30
本发明专利技术涉及一种用于真空结晶炉中保温组件的材料的生产方法。主要是为解决现有的由钼或石墨毡制成的保温组件对结晶炉内产生污染,影响晶体质量等问题而发明专利技术的。方法是将生产态粒度为2.55um,研磨态粒度为2.3um的W颗粒和生产态粒度为2.65um,研磨态粒度为2.4um的Mo颗粒混合,其中W和Mo的重量相等,混合后再加入占W颗粒和Mo颗粒总重量0.2%-0.5%的CeO,和占W颗粒和Mo颗粒总重量0.05%-0.1%的ZrH2,混合均匀后经冷等静压机压制成型,最后在温度为2350℃以上的高温真空烧结炉内烧结。优点是不会对真空结晶炉内产生污染,不影响晶体质量。

【技术实现步骤摘要】

:本专利技术涉及一种用于真空结晶炉中保温组件的材料的生产方法。
技术介绍
:现有的真空结晶炉的保温组件是由钥制板材或石墨毡制成的,由钥制板材制成的保温组件的缺点是:钥板加热后,具有因再结晶晶粒变粗和脆化的特点,常发生表面起泡、起层现象,而且极易破碎,无法维修,另外,真空结晶炉工作时炉内的温度在2000で以上,而钥在1800°C时,会产生強烈的蒸发(升华)现象,不仅对结晶炉内产生污染,影响晶体质量,还会减短保温组件的使用周期。由石墨毡制作的保温组件的缺点是:在高温、高真空状态下石墨易挥发,所产生的游离态碳分子与结晶炉内的钨、钥坩埚及发热体发生化学反应,生成碳化物,会缩短真空结晶炉的使用寿命
技术实现思路
:本专利技术所要解决的技术问题是提供,按照该方法生产出的材料制成的保温组件不会对真空结晶炉内产生污染,不影响晶体质量,井能延长保温组件和真空结晶炉的使用寿命。上述目的是这样实现的:将生产态粒度为2.55um,研磨态粒度为2.3um的W颗粒和生产态粒度为2.65um,研磨态粒度为2.4um的Mo颗粒混合,其中W和Mo的重量相等,混合后再加入占W颗粒和Mo颗粒总重量0.2% -0.5%的Ce本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于真空结晶炉保温组件的材料的生产方法,其特征是:将生产态粒度为2.55um,研磨态粒度为2.3um的W颗粒和生产态粒度为2.65um,研磨态粒度为2.4um的Mo颗粒混合,其中W和Mo的重量相等,混合后再加入占W颗粒和Mo颗粒总重量0.2%?0.5%的CeO,和占W颗粒和Mo颗粒总重量0.05%?0.1%的ZrH2,混合均匀后经冷等静压机压制成型,最后在温度为2350℃以上的高温真空烧结炉内烧结。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:高殿斌
申请(专利权)人:高殿斌
类型:发明
国别省市:

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