【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种蚀刻液，用于对至少一层Ti或Ti合金层或至少一层其他金属层构成的金属层压膜进行一并蚀刻，所述蚀刻液含有含氟酸或生成该含氟酸的氟化物，以及氟可配位的离子。
【技术特征摘要】
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