金属薄膜制备方法技术

本发明专利技术公开了一种金属薄膜的制备方法，包括下述步骤：（1）在金属基体表面选定区域涂覆胶粘剂；（2）待胶粘剂变干形成胶粘层后，在金属基体表面和胶粘层上镀金属薄膜；（3）镀膜完成后，将金属基体放入有机溶剂中浸润以软化胶粘层，再将金属基体置于有机溶剂中超声处理以除去胶粘层，得到具有台阶结构的金属薄膜。本发明专利技术利用涂覆粘胶剂保护基体的部分表面，并通过清除粘胶剂的方式在薄膜表面形成台阶，保证了金属薄膜台阶结构的完整、边缘清晰。本发明专利技术制得的金属薄膜适用于轮廓仪、扫描探针显微镜测量金属薄膜台阶高度并标定薄膜厚度，可用于非接触式、间接的测厚仪器（如：X射线衍射仪、X射线荧光测厚仪）的计量校准。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
金属薄膜制备方法，其特征在于，包括下述步骤：（1）在金属基体表面选定区域涂覆胶粘剂；（2）待胶粘剂变干形成胶粘层后，在金属基体表面和胶粘层上镀金属薄膜；（3）镀膜完成后，将金属基体放入有机溶剂中浸润以软化胶粘层，再将金属基体置于有机溶剂中超声处理以除去胶粘层，得到具有台阶结构的金属薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张欣宇，
申请(专利权)人：广东省计量科学研究院，
类型：发明
国别省市：