【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
本专利技术涉及一种制备薄膜材料的靶材托，该靶材托所采用的材质为导电和导热性能较好的金属铜，或不锈钢材料。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨海刚，秦瑞平，蒋玉荣，李新强，张计才，张基东，宋桂林，
申请(专利权)人：河南师范大学，
类型：发明
国别省市：
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