泡沫塑料高功率脉冲磁控溅射表面金属化方法技术

一种泡沫塑料高功率脉冲磁控溅射表面金属化方法，属于材料表面工程技术领域。该方法首先对泡沫塑料表面进行表面封闭、清洗和干燥、去应力预处理，而后装样、抽真空、除气；预溅射清洗泡沫塑料工件和溅射靶材；高功率脉冲磁控溅射沉积金属涂层，通过控制脉冲位形、频率、充电电压和溅射/冷却时间实现在泡沫塑料工件表面高离化率、低温沉积金属涂层，制备表面光滑、结构致密、高膜基结合力的金属涂层；最后冷却、取件、检查金属化泡沫塑料表面形貌、硬度和膜基结合力等性能。该方法的优点为：适用于金属化涂层种类广泛；涂层表面光滑致密、膜基结合力强；溅射沉积温度低，塑料泡沫基体不发生变形；安全环保，不使用化学镀工艺所涉及的含Cr6+的铬酸试剂。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种泡沫塑料高功率脉冲磁控溅射表面金属化方法，其特征在于：采用的步骤如下：?a）泡沫塑料工件表面预处理?对泡沫塑料表面进行封闭、清洗和干燥、去应力处理；?b）装件、抽真空、除气?将经过表面预处理的泡沫塑料安放在真空室内，进行抽真空，抽真空至本底真空度2×10?4Pa～8×10?3Pa，而后向真空室内通入惰性气体，一般为氩气，气体流量为40～100sccm，此时真空室内气压维持在6×10?2Pa～2×10?1Pa，除气时间为20～60min；?c）预溅射清洗泡沫塑料工件和溅射靶材?先对泡沫塑料工件进行溅射清洗，使用高功率脉冲电源在泡沫塑料工件上施加?100～?400V偏压、占空比为80～100%...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：雷明凯，朱小鹏，李昱鹏，吴志立，吴彼，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：