一种氮气加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于硅片烘干的氮气加热装置，包括：空气加热包，其内设有加热管道；氮气加热包，其内设有与空气换热的氮气盘管；连接空气加热包出口和氮气加热包入口的抽风管道，该抽风管道上设有抽风机；连接氮气加热包中空气出口与空气加热包入口的回气管道；所述的氮气盘管的出口通过保温管和分流管与烘箱连接。本实用新型专利技术能够有效烘干硅片，且保证了硅片的高纯度，提高生产质量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及氮气加热装置，尤其涉及一种对清洗完毕的硅芯进行在线加热烘干的氮气加热装置。
技术介绍
在硅芯机中，烘干槽对清洗完毕的硅芯进行加热烘干。现有的烘干槽使用热空气来烘干清洗后的硅芯，由于硅在空气中会被氧化，所以如果用热空气来烘干清洗后的硅芯，硅芯中硅的纯度就会降低，如果想要得到更高纯度的单晶硅，就要求烘干气体不能与硅反应且纯净度要很高，更不可以含有其它固体颗粒杂质。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述现有技术存在的缺陷，提供一种氮气加热装置。本技术采用的技术方案是，设计一种氮气加热装置，包括： 空气加热包，其内设有加热管道；氮气加热包，其内设有与空气换热的氮气盘管；连接空气加热包出口和氮气加热包入口的抽风管道，该抽风管道上设有抽风机；连接氮气加热包中空气出口与空气加热包入口的回气管道；所述的氮气盘管的出口通过保温管和分流管与烘箱连接。在一实施例中，所述的氮气盘管采用密集分布的毛细管；所述的氮气包入口设有调压过滤器。与现有技术相比，本技术通过氮气加热包能够得到较高纯度的热氮气，对清洗后的硅片进行在线加热烘干，可以有效防止清洗后的硅片被再次氧化，同时保证硅片的纯度，提高了生产效率和生产质量。 附图说明图1为本技术的主视图；图2为本技术的侧视图；图3为本技术的工作原理图。具体实施方式下面结合附图和实施例对技术进行详细的说明。如图1、图2所示，本技术提出的氮气加热装置包括：空气加热包1，在空气加热包1中设有加热管道9；氮气加热包2，在氮气加热包2中设有与空气换热的氮气盘管6，氮气盘管6采用密集分布的毛细管；氮气加热包2中空气的出口与空气加热包1的入口由回气管道5连接；氮气加热包2中空气的入口与空气加热包1的出口由抽风管道3连接，抽风管道3上设有抽风机4。如图3所示，氮气盘管6的入口设有调压过滤器8，氮气盘管6的出口依次通过保温管7和分流管10与烘箱11连接。如图3所示，在本实例中，整个氮气加热装置采用热空气进行加热，空气在空气加热包1中通过加热管加热，然后由抽风机4经抽风管道3进入氮气加热包2，热空气与氮气加热包2中氮气盘管6内的氮气换热，加热氮气通过保温管6送入烘箱11对硅芯进行烘干。从氮气加热包中排出的空气通过回气管道5回流入空气加热包1中循环使用。 本技术中，氮气盘管6采用毛细管，毛细管中的氮气与氮气包中逆向流动的热空气相互换热，加热的氮气最后由氮气加热包2上部的氮气出口流出，经保温管7和分流管10均匀进入烘箱11内烘干清洗完的硅片。氮气盘管6的入口连接一调压过虑器8，可以调节控制氮气的流量。上述实施例仅用于说明本技术的具体实施方式。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和变化，这些变形和变化都应属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于硅片烘干的氮气加热装置，其特征在于包括：?空气加热包（1），其内设有加热管道（9）；氮气加热包（2），其内设有与空气换热的氮气盘管（6）；连接空气加热包出口和氮气加热包入口的抽风管道（3），该抽风管道上设有抽风机（4）；连接氮气加热包中空气出口与空气加热包入口的回气管道（5）；所述的氮气盘管的出口通过保温管（7）和分流管（10）与烘箱（11）连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片烘干的氮气加热装置，其特征在于包括： 空气加热包（1），其内设有加热管道（9）；氮气加热包（2），其内设有与空气换热的氮气盘管（6）；连接空气加热包出口和氮气加热包入口的抽风管道（3），该抽风管道上设有抽风机（4）；连接氮气加热包中空气出口与空气加热包入口的回气管...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：