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本实用新型公开了一种用于硅片烘干的氮气加热装置，包括：空气加热包，其内设有加热管道；氮气加热包，其内设有与空气换热的氮气盘管；连接空气加热包出口和氮气加热包入口的抽风管道，该抽风管道上设有抽风机；连接氮气加热包中空气出口与空气加热包入口的回...
该专利属于常州捷佳创精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州捷佳创精密机械有限公司授权不得商用。

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