【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光硼掺设备，尤其涉及到一种对激光加工台面进行高效除尘的台面除尘装置。
技术介绍
1、在激光加工设备进行se技术的激光加工过程中，由于激光对扩散面进行掺杂加工过程中，激光的加工会产生许多粉尘。如果不通过气流清洁设备内部的空间的话，加工过程中产生的粉尘容易吸在待加工晶圆表面，影响加工效率和精度。粉尘轻则影响加工工艺，重则对周围人员的身体造成影响甚至影响环境。
2、激光台面罩可以吸走粉尘阻止粉尘扩散，是激光加工中必要的重要部件，行业中一直长期使用。现有的激光台面罩存在如下缺陷：
3、1、激光台面罩采用全金属构件，不利于观察激光加工台面的状况和加工是否完成；
4、2、在调试过程中，经常需要拆掉旧款台面除尘罩的前面板再进行调试，或者是拆掉整个除尘罩，等调试完再装回去，非常繁琐，拖延调试时间；
5、3、生产过程中，激光加工台面上如有电池片碎片或破片非常难以清理。
技术实现思路
1、为了解决现有技术中的上述缺陷，本技术提出一种台面除尘装置，其包...
【技术保护点】
1.一种台面除尘装置，其特征在于：包括除尘箱（1）、保护罩（2）和吸尘管（4）；其中
2.如权利要求1所述的台面除尘装置，其特征在于：所述除尘箱（1）的一个侧壁的下边沿安装有除尘风刀（3），所述除尘风刀（3）用以对进入除尘箱（1）的工件进行除尘。
3.如权利要求2所述的台面除尘装置，其特征在于：所述台面除尘装置还包括除尘管路，所述除尘管路包括彼此连通的主管（5）和支管（6），所述支管（6）的端头连接所述吸尘管（4），所述主管（5）排出带尘气体。
4.如权利要求2所述的台面除尘装置，其特征在于：所述除尘箱（1）的形状为一个长方体，所述...
【技术特征摘要】
1.一种台面除尘装置，其特征在于：包括除尘箱（1）、保护罩（2）和吸尘管（4）；其中
2.如权利要求1所述的台面除尘装置，其特征在于：所述除尘箱（1）的一个侧壁的下边沿安装有除尘风刀（3），所述除尘风刀（3）用以对进入除尘箱（1）的工件进行除尘。
3.如权利要求2所述的台面除尘装置，其特征在于：所述台面除尘装置还包括除尘管路，所述除尘管路包括彼此连通的主管（5）和支管（6），所述支管（6）的端头连接所述吸尘管（4），所述主管（5）排出带尘气体。
4.如权利要求2所述的台面除尘装置，其特征在于：所述除尘箱（1）的形状为一个长方体，所述除尘风刀（3）和吸尘管（4）分别安装在除尘箱（1）相对的两个侧壁上。
5.如权利要求1所述的台面除尘装置，其特征在于：所述检修门（1a）采用滤光材料。
6.如权利要求1所述的台面除尘装置，其特征在于：所述除尘箱（1）的顶板上设有拉手（7）。
7.如权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，田西林，周志豪，徐双镇，王强，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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