一种微泡发生装置及硅片清洗系统制造方法及图纸

本技术属于微泡发生器技术领域，具体涉及一种微泡发生装置及硅片清洗系统，本微泡发生装置包括：供液组件、供气组件、高压溶解罐和喷出组件；其中所述供液组件、供气组件、高压溶解罐、喷出组件依次相连；所述供液组件适于向供气组件输送液体，所述供气组件将气体与液体混合以输送至高压溶解罐；所述高压溶解罐适于通过高压将气体压入液体中，以使所述喷出组件喷出微泡液体；本技术通过供液组件与供气组件相配合，实现将气体与液体混合，并且在高压溶解罐中将气体压入液体中实现充分融合，由喷出组件实现喷出微泡液体，代替金属泵的泵头进行气液混合，能够避免产生金属离子污染硅片，实现清洗硅片的功能。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于微泡发生器，具体涉及一种微泡发生装置及硅片清洗系统。

技术介绍

1、微泡发生器是一种能够产生微小气泡的装置，在环保、污水处理、食品加工、医疗等多个领域得到广泛应用，其主要原理是利用高压气体将液体中的氧分子或气体分子转化为气泡。

2、现有微泡发生器通过金属泵的泵头进行气液混合，压力为0.5mpa通过喷头出来含微泡的液体，但是该类金属泵无法直接应用于硅片清洗
，因为金属泵会产生金属离子对硅片产生污染。

3、因此，亟需开发一种新的微泡发生装置及硅片清洗系统，以解决上述问题。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种微泡发生装置及硅片清洗系统。

2、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种微泡发生装置，其包括：供液组件、供气组件、高压溶解罐和喷出组件；其中所述供液组件、供气组件、高压溶解罐、喷出组件依次相连；所述供液组件适于向供气组件输送液体，所述供气组件将气体与液体混合以输送至高压溶解罐；所述高压溶解罐适于通过高压将气体压入液体中，以使所述喷出组件喷出微泡液体。...

【技术保护点】

1.一种微泡发生装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的微泡发生装置，其特征在于，

3.如权利要求2所述的微泡发生装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的微泡发生装置，其特征在于，

5.如权利要求3所述的微泡发生装置，其特征在于，

6.如权利要求5所述的微泡发生装置，其特征在于，

7.如权利要求1所述的微泡发生装置，其特征在于，

8.如权利要求1所述的微泡发生装置，其特征在于，

9.如权利要求2所述的微泡发生装置，其特征在于，

10.一种硅片清洗系统，其特征在于，包括：如...

【技术特征摘要】

1.一种微泡发生装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的微泡发生装置，其特征在于，

3.如权利要求2所述的微泡发生装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的微泡发生装置，其特征在于，

5.如权利要求3所述的微泡发生装置，其特征在于，

6.如权利要求5...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，成旭，鞠璐平，谈丽文，申斌，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：