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本技术属于微泡发生器技术领域，具体涉及一种微泡发生装置及硅片清洗系统，本微泡发生装置包括：供液组件、供气组件、高压溶解罐和喷出组件；其中所述供液组件、供气组件、高压溶解罐、喷出组件依次相连；所述供液组件适于向供气组件输送液体，所述供气组件将...
该专利属于常州捷佳创精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州捷佳创精密机械有限公司授权不得商用。

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