NLDMOS器件及其制造方法技术

技术编号:8744847 阅读:168 留言:0更新日期:2013-05-29 22:24
本发明专利技术公开了一种NLDMOS器件,P型硅衬底上形成有深N阱,在与所述深N阱相邻的在P型硅衬底上形成有P阱,在所述深N阱中形成有浮置P型结构,在所述深N阱上形成有漏极,在所述P阱上形成有源极,在所述P阱同所述深N阱交界区域上方形成栅极,所述浮置P型结构所对应的上方的深N阱中的N型杂质浓度大于下方的深N阱中的N型杂质浓度。本发明专利技术还公开了一种NLDMOS器件的制造方法。本发明专利技术,能提高NLDMOS器件的导通电阻。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种NLDMOS器件,P型硅衬底上形成有深N阱,在与所述深N阱相邻的在P型硅衬底上形成有P阱,在所述深N阱中形成有浮置P型结构,在所述深N阱上形成有漏极,在所述P阱上形成有源极,在所述P阱同所述深N阱交界区域上方形成栅极,其特征在于,所述浮置P型结构所对应的上方的深N阱中的N型杂质浓度大于下方的深N阱中的N型杂质浓度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张帅董科
申请(专利权)人:上海华虹NEC电子有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1