一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置制造方法及图纸

技术编号:8736490 阅读:188 留言:0更新日期:2013-05-26 12:12
本发明专利技术公开了一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置,属于材料表面改性技术领域。该装置由高压脉冲功率电源、时序控制电路、潘宁阳极、阴极、磁场线圈及真空室组成。在真空室达到工作压强后,通过高压脉冲功率电源的放电时序控制,开启脉冲磁场,当磁场强度达到设定值后,潘宁阳极内部及其与阴极和工作台相对区间形成空间放电,获得大口径等离子体。本发明专利技术提供的装置可产生磁场强度~5000Gs,潘宁放电电压~7500V,放电持续时间~500μs,重复工作频率0.5Hz,直径Φ60-120mm的等离子体,具有设计合理、结构简单和自动化程度高等优点,适用于材料表面改性处理技术的研究与应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于材料表面改性
,涉及到一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置
技术介绍
材料科学是人类社会发展的重要支柱之一。随着现代科学技术的进步,对材料的性能提出更高要求,材料科学面临新的挑战。疲劳、磨损和腐蚀是工程材料的三种主要失效方式,它们都与材料表面状态密切相关,如化工容器和管道的腐蚀、刀具与模具的耐磨性、机械零部件的疲劳裂纹在表面萌生等,提高这些材料使用性能的关键在于改善其表面性倉泛。材料表面改性技术是材料科学研究的一个重要分支,它是在不削弱基体材料力学性能的基础上,采用物理或化学手段在基体表面制备具有特定功能的改性层,以提高材料的耐热、耐蚀、抗氧化和耐磨损等性能。选择合理的表面改性处理方法,可以在较少的技术和资金投入的情况下,显著提升产品的服役性能和使用寿命。当前,材料表面改性技术发展迅速,并在实际生产应用中获得显著收益。在现有的各种材料表面处理技术中,借助等离子体方法实现的表面改性工艺具有高效、节能和环境相容等优点,得到人们的广泛重视和研究。这些表面改性工艺的共同特点是利用等离子体放电产生活性载能粒子,当与加工工件表面相互作用时,引发材料表层能量作用区内的元素本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置,包括高压脉冲功率电源(8)、时序控制电路(9)、潘宁阳极(5)、阴极(7)、磁场线圈(4)、真空室(1)和进气管路(10);其特征在于:时序控制电路(9)控制高压脉冲功率电源(8)的开启动作,分别为磁场线圈(4)和潘宁阳极(5)提供各自独立的高压输出;阴极(7)与工作台(2)相对放置于真空室(1)轴线上,潘宁阳极(5)位于阴极(7)与工作台(2)中间并保持同轴;磁场线圈(4)由两个平行放置的密绕线圈组成,提供沿潘宁阳极(5)轴线的约束磁场,两线圈提供的工作磁场极性一致;通过下述设定值获得直径Φ60?120mm的放电等离子体(6):磁场线圈(4)电压500...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郝胜智李向南彭艳芳张艳龙
申请(专利权)人:大连理工大学
类型:发明
国别省市:

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