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一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置制造方法及图纸
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下载一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置的技术资料
文档序号:8736490
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本发明公开了一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置,属于材料表面改性技术领域。该装置由高压脉冲功率电源、时序控制电路、潘宁阳极、阴极、磁场线圈及真空室组成。在真空室达到工作压强后,通过高压脉冲功率电源的放电时序控制,开启脉冲磁场,当磁场强度...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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