热压法制备ITO靶材的方法技术

本发明专利技术涉及ITO靶材，具体说是热压法制备ITO靶材的方法，其包括制取铟锡氢氧化物沉淀溶液；离心分离沉淀溶液中的沉淀物和液体；用水洗涤沉淀物，并离心分离沉淀物和水；干燥、煅烧沉淀物，得到ITO粉末；在ITO粉末中加入聚乙烯醇，利用模具将ITO粉末干压成成型体；将成型体置于热压炉中,制取ITO靶材的步骤。本发明专利技术通过控制合成溶液的温度和PH值等条件，可使ITO粉末达到纳米级，为热压法制备高密度的ITO靶材提供条件；同时本发明专利技术采用多次离心分离水洗的沉淀物，可有效去除沉淀物表面的杂质，有助于提高ITO粉末的导电性，从而提高ITO靶材的性能；而且本发明专利技术的热压法所需的成型压力较小，烧结温度低、时间短，生产成本低，可抑制晶粒长大，获得接近理论密度和较低气孔率的ITO靶材。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ITO靶材的制取，具体说是利用热压法制备ITO靶材的方法。
技术介绍
ITO (锡铟氧化物)的主要成分是氧化锡固溶在氧化铟中的复合氧化物。ITO具有很好的光电性能，含有ITO的薄膜具有高的导电性和可见光透射性，被广泛应用于太阳能电池、液晶显示装置、触控电板等各种领域。随着液晶平板显示装置等的快速普及，ITO靶材的消耗越来越多，对靶材的要求也越来越高。目前，采用纳米材料制备低温烧结的ITO靶材是靶材研究者不懈努力的方向，现有技术常用的方法采用共沉淀法制备ITO粉末，然后用ITO粉末烧结成ITO靶材。但现有技术的采用的方法制备的ITO粉末烧结性能较差，最终得到的ITO靶材的密度较低，限制了 ITO靶材的应用。
技术实现思路
针对上述技术问题，本专利技术提供一种利用热压法制备ITO靶材密度较高、生产成本较低的方法。本专利技术解决上述技术问题采用的技术方案为:热压法制备ITO靶材的方法，其包括以下步骤: (1)首先将金属铟溶解于盐酸溶液中，向该溶液中加入四氯化锡，保持混合溶液中的铟锡质量比为9.45:1 ;然后将混合溶液导入三乙醇胺与聚乙烯吡咯烷酮溶液中，并加入氨水，形成合成溶本文档来自技高网...

【技术保护点】
热压法制备ITO靶材的方法，其包括以下步骤：（1）首先将金属铟溶解于盐酸溶液中，向该溶液中加入四氯化锡，保持混合溶液中的铟锡质量比为9.45:1；然后将混合溶液导入三乙醇胺与聚乙烯吡咯烷酮溶液中，并加入氨水，形成合成溶液；接着对合成溶液加热，得到铟锡氢氧化物沉淀溶液；（2）离心分离沉淀溶液中的沉淀物和液体；（3）用水洗涤沉淀物，并离心分离沉淀物和水；（4）重复步骤（3）3次—5次，得到沉淀物；（5）干燥、煅烧步骤（4）的沉淀物，得到ITO粉末；（6）在ITO粉末中加入聚乙烯醇，利用模具将ITO粉末干压成成型体；（7）将成型体置于热压炉中,制取ITO靶材。

【技术特征摘要】
1.热压法制备ITO靶材的方法，其包括以下步骤: (1)首先将金属铟溶解于盐酸溶液中，向该溶液中加入四氯化锡，保持混合溶液中的铟锡质量比为9.45:1 ;然后将混合溶液导入三乙醇胺与聚乙烯吡咯烷酮溶液中，并加入氨水，形成合成溶液；接着对合成溶液加热，得到铟锡氢氧化物沉淀溶液； (2)离心分离沉淀溶液中的沉淀物和液体； (3)用水洗涤沉淀物，并离心分离沉淀物和水； (4)重复步骤(3)3次一5次，得到沉淀物； (5)干燥、煅烧步骤(4)的沉淀物，得到ITO粉末； (6)在ITO粉末中加入聚乙烯醇，利用模具将ITO粉末干压成成型体； (7)将成型体置于热压炉中，制取ITO靶材。2...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈进中，熊爱臣，伍祥武，吴伯增，何焕全，韩洪涛，林东东，甘振英，
申请(专利权)人：柳州百韧特先进材料有限公司，
类型：发明
国别省市：