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本发明涉及ITO靶材,具体说是热压法制备ITO靶材的方法,其包括制取铟锡氢氧化物沉淀溶液;离心分离沉淀溶液中的沉淀物和液体;用水洗涤沉淀物,并离心分离沉淀物和水;干燥、煅烧沉淀物,得到ITO粉末;在ITO粉末中加入聚乙烯醇,利用模具将ITO...该专利属于柳州百韧特先进材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过柳州百韧特先进材料有限公司授权不得商用。
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本发明涉及ITO靶材,具体说是热压法制备ITO靶材的方法,其包括制取铟锡氢氧化物沉淀溶液;离心分离沉淀溶液中的沉淀物和液体;用水洗涤沉淀物,并离心分离沉淀物和水;干燥、煅烧沉淀物,得到ITO粉末;在ITO粉末中加入聚乙烯醇,利用模具将ITO...