数控多晶双端面研磨机磨头进给机构制造技术

技术编号:8721862 阅读:250 留言:0更新日期:2013-05-17 22:57
本实用新型专利技术涉及多晶硅领域,尤其涉及一种多晶双端面研磨机。一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构,包括支座、滑板、线性滑动导轨、滚珠丝杠、丝杆座和电机;所述线性滑动导轨共有一对,一对线性滑动导轨平行固定安装在支座上,所述滚珠丝杠通过轴承安装在支座上,滚珠丝杠与线性滑动导轨平行设置;所述电机通过传动机构与滚珠丝杠相连,所述丝杆座固定安装在滚珠丝杠的丝杠螺母上,所述滑板安装在线性滑动导轨的滑块上,滑板与丝杆座固定相连,磨头固定安装在滑板的顶部。本实用新型专利技术利用自动化控制的电机运动提高了加工精度,彻底解决了原机构引起的磨头进给困难、被加工件易损坏的现象。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅领域,尤其涉及一种多晶双端面研磨机。
技术介绍
数控多晶双端面研磨机是多晶硅长方体四平面加工的必备设备,而多晶硅锭经工艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。数控多晶双端面研磨机磨头进给机构的作用为,在数控多晶双端面研磨机作业过程中,磨头进给机构可以使磨头平稳、匀速的前进和退出,保证被加工件的磨削精度,且不会将被加工件损坏。一般的磨头进给机构,是采用硬性定位的方式来实现的,操作困难,容易造成被加工件损坏,维护困难等现象。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构,通过电机带动丝杠副运动,解决了原机构引起的磨头进给困难、被加工件易损坏的现象。本技术是这样实现的:一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构,包括支座、滑板、线性滑动导轨、滚珠丝杠、丝杆座和电机;所述线性滑动导轨共有一对,一对线性滑动导轨平行固定安装在支座上,所述滚珠丝杠通过轴承安装在支座上,滚珠丝杠与线性滑动导轨平行设置;所述电机通过传动机构与滚珠丝杠相连,所述丝杆座固定安装在滚珠丝杠的丝杠螺母上,所述滑板安装在线性滑动导轨的滑块上,滑板与丝杆座固定相连,磨头固定安装在滑板的顶部。所述的电机通过接套固定安装在减速箱上,所述减速箱固定安装在支座上,电机通过减速箱与滚珠丝杠相连带动滚珠丝杠。所述滚珠丝杠上靠近轴承的一端旋有锁紧螺母。所述滑板两端与支座之间设有防护罩。所述的防护罩为折叠伸缩防护罩。所述滑板两端设置有挡板。本技术数控多晶双端面研磨机磨头进给机构通过电机带动丝杠副运动,用线性滑动导轨导向,便于准确的磨削被加工件;利用自动化控制的电机运动提高了加工精度,彻底解决了原机构弓I起的磨头进给困难、被加工件易损坏的现象。附图说明图1为本技术数控多晶双端面研磨机磨头进给机构立体结构示意图;图2为本技术主视示意图图3为图2的A-A剖面图;图4为本技术俯视示意图。图中:1支座、2滑板、3线性滑动导轨、4滚珠丝杠、5丝杆座、6电机、7轴承、8磨头、9接套、10减速箱、11锁紧螺母、12防护罩、13挡板。具体实施方式下面结合具体实施例,进一步阐述本技术。应理解,这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。此外应理解,在阅读了本技术表述的内容之后,本领域技术人员可以对本技术作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。实施例1如图1、2、3、4所示,一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构,包括支座1、滑板2、线性滑动导轨3、滚珠丝杠4、丝杆座5和电机6 ;所述线性滑动导轨3共有一对,一对线性滑动导轨3平行固定安装在支座I上,所述滚珠丝杠4通过轴承7安装在支座I上,滚珠丝杠4与线性滑动导轨3平行设置;所述电机6通过传动机构与滚珠丝杠4相连,所述丝杆座5固定安装在滚珠丝杠4的丝杠螺母上,所述滑板2安装在线性滑动导轨3的滑块上,滑板2与丝杆座5固定相连,磨头8固定安装在滑板2的顶部。本技术可以进一步描述为,所述的电机6通过接套9固定安装在减速箱10上,所述减速箱10固定安装在支座I上,电机6通过减速箱10与滚珠丝杠4相连带动滚珠丝杠4。 在本实施例中,所述滚珠丝杠4上靠近轴承7的一端旋有锁紧螺母11,用于锁紧轴承7的轴向撺动。另外在本实施例中,所述滑板2两端与支座I之间设有防护罩12,为了能配合滑板2的来回移动,所述的防护罩12为折叠伸缩防护罩。另外,为了防止移动距离过远,造成脱出,所述滑板2两端设置有挡板13。作业过程中,电机6通过减速箱10、接套9的作用,使得滚珠丝杠4上的丝杆螺母左右移动,丝杆座5与丝杆螺母联动带动滑板2沿着线性滑动导轨3方向移动,从而带动磨头8运动。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构,其特征是:包括支座(1)、滑板(2)、线性滑动导轨(3)、滚珠丝杠(4)、丝杆座(5)和电机(6);所述线性滑动导轨(3)共有一对,一对线性滑动导轨(3)平行固定安装在支座(1)上,所述滚珠丝杠(4)通过轴承(7)安装在支座(1)上,滚珠丝杠(4)与线性滑动导轨(3)平行设置;所述电机(6)通过传动机构与滚珠丝杠(4)相连,所述丝杆座(5)固定安装在滚珠丝杠(4)的丝杠螺母上,所述滑板(2)安装在线性滑动导轨(3)的滑块上,滑板(2)与丝杆座(5)固定相连,磨头(8)固定安装在滑板(2)的顶部。

【技术特征摘要】
1.一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构,其特征是:包括支座(I)、滑板(2)、线性滑动导轨(3)、滚珠丝杠(4)、丝杆座(5)和电机¢);所述线性滑动导轨(3)共有一对,一对线性滑动导轨(3)平行固定安装在支座(I)上,所述滚珠丝杠(4)通过轴承(7)安装在支座(I)上,滚珠丝杠(4)与线性滑动导轨(3)平行设置;所述电机(6)通过传动机构与滚珠丝杠(4)相连,所述丝杆座(5)固定安装在滚珠丝杠(4)的丝杠螺母上,所述滑板(2)安装在线性滑动导轨(3)的滑块上,滑板(2)与丝杆座(5)固定相连,磨头(8)固定安装在滑板⑵的顶部。2.如权利要求1所述的数控多晶双端面研磨机磨头进给机构,其特征是:所述的电机(...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴学军周凯平
申请(专利权)人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司
类型:新型
国别省市:宁夏;64

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