【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅领域，尤其涉及一种多晶双端面研磨机。
技术介绍
数控多晶双端面研磨机是多晶硅长方体四平面加工的必备设备，而多晶硅锭经工艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。数控多晶双端面研磨机磨头进给机构的作用为，在数控多晶双端面研磨机作业过程中，磨头进给机构可以使磨头平稳、匀速的前进和退出，保证被加工件的磨削精度，且不会将被加工件损坏。一般的磨头进给机构，是采用硬性定位的方式来实现的，操作困难，容易造成被加工件损坏，维护困难等现象。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构，通过电机带动丝杠副运动，解决了原机构引起的磨头进给困难、被加工件易损坏的现象。本技术是这样实现的:一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构，包括支座、滑板、线性滑动导轨、滚珠丝杠、丝杆座和电机；所述线性滑动导轨共有一对，一对线性滑动导轨平行固定安装在支座上，所述滚珠丝杠通过轴承安装在支座上，滚珠丝...
【技术保护点】
一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构，其特征是：包括支座(1)、滑板(2)、线性滑动导轨(3)、滚珠丝杠(4)、丝杆座(5)和电机(6)；所述线性滑动导轨(3)共有一对，一对线性滑动导轨(3)平行固定安装在支座(1)上，所述滚珠丝杠(4)通过轴承(7)安装在支座(1)上，滚珠丝杠(4)与线性滑动导轨(3)平行设置；所述电机(6)通过传动机构与滚珠丝杠(4)相连，所述丝杆座(5)固定安装在滚珠丝杠(4)的丝杠螺母上，所述滑板(2)安装在线性滑动导轨(3)的滑块上，滑板(2)与丝杆座(5)固定相连，磨头(8)固定安装在滑板(2)的顶部。
【技术特征摘要】
1.一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构，其特征是:包括支座(I)、滑板(2)、线性滑动导轨(3)、滚珠丝杠(4)、丝杆座(5)和电机￠);所述线性滑动导轨(3)共有一对，一对线性滑动导轨(3)平行固定安装在支座(I)上，所述滚珠丝杠(4)通过轴承(7)安装在支座(I)上，滚珠丝杠(4)与线性滑动导轨(3)平行设置；所述电机(6)通过传动机构与滚珠丝杠(4)相连，所述丝杆座(5)固定安装在滚珠丝杠(4)的丝杠螺母上，所述滑板(2)安装在线性滑动导轨(3)的滑块上，滑板(2)与丝杆座(5)固定相连，磨头(8)固定安装在滑板⑵的顶部。2.如权利要求1所述的数控多晶双端面研磨机磨头进给机构，其特征是:所述的电机(...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴学军，周凯平，
申请(专利权)人：宁夏日晶新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64
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