等离子处理装置制造方法及图纸

在等离子处理装置中，防止排列的3个以上的电极中的内侧电极的下端部被因潜流放电引起的腐蚀性成分腐蚀。排列3个以上的板状的电极(21)。用由板状的固体电介质构成的电介质部件(30)来覆盖各电极(21)的放电生成面(27)。从设置于电极(21)的侧部的清洗喷嘴(70)喷出清洗气体。清洗气体沿着内侧的电极(21B、21C、21D)的下端面而流动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使处理气体通过接近大气压的放电空间从而等离子化后与配置于放电空间的外部的被处理物接触，来对被处理物进行表面处理的装置，特别涉及排列3个以上的形成上述放电空间的电极的等离子处理装置。
技术介绍
已经公知排列3个以上电极的大气压等离子处理装置(参照专利文献I等)。相邻的电极彼此的对置面(放电生成面)由固体电介质所覆盖。作为固体电介质例如使用氧化铝等的陶瓷板(电介质部件)。在覆盖相邻的电极的对置面的陶瓷板彼此间形成有狭缝状的通路。通过在电极间施加电场，在电极间，在接近大气压下生成放电，上述狭缝状的空间成为放电空间。处理气体被导入到放电空间中而被等离子化。等离子化后的处理气体从放电空间中导出，喷射到被处理物上。由此,对被处理物进行表面处理。先行技术文献专利文献专利文献I JP特开2005-333096号公报专利技术的概要专利技术要解决的课题在大气压等离子处理装置的由电极的放电生成面的周缘和陶瓷板作出的转角部易于产生潜流放电(creeping discharge)。若在上述转角部存在空气等的气氛气体,贝丨J会由于潜流放电而生成臭氧等的腐蚀性成分。上述气氛气体因电极的热而高温化，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.22 JP 2010-0991351.一种等离子处理装置，使处理气体通过接近大气压的放电空间后与配置于所述放电空间的外部的被处理物接触，其特征在于，具备: 3个以上的电极，各自形成为具有下端面以及与所述下端面交叉的放电生成面的板状，并按照使相邻电极彼此的所述放电生成面相对的方式，在与所述放电生成面交叉的排列方向上排列； 电介质部件，其由覆盖所述各放电生成面且勾画所述放电空间的板状的固体电介质构成；和 清洗喷嘴，其按照使清洗气体沿着所述3个以上的电极中的配置于内侧的电极的下端面流动的方式来喷出该清洗...

【专利技术属性】
技术研发人员：真弓聪，屋代进，
申请(专利权)人：积水化学工业株式会社，
类型：
国别省市：