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在等离子处理装置中，防止排列的3个以上的电极中的内侧电极的下端部被因潜流放电引起的腐蚀性成分腐蚀。排列3个以上的板状的电极(21)。用由板状的固体电介质构成的电介质部件(30)来覆盖各电极(21)的放电生成面(27)。从设置于电极(21)的...
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