防尘薄膜组件制造技术

提供一种利用在碳纤维中浸渍树脂而成的复合材料料，制作的轻量化的，由防尘薄膜的张力造成的弯曲以及处理时产生的弯曲小的高刚性，原料成本以及生产成本低的防尘薄膜组件框架。该防尘薄膜组件框架(1)为，由长边和短边形成的四边形状的框体，其四个角部的内壁侧以及外壁侧都为圆弧状。在长边和短边的各边的壁面的规定的场所，分别，用于防尘薄膜组件框架(1)的内侧和外侧通气用的通气孔(2)以及处理时使用的凹孔(3)。另外，掩模粘着层设置的下端面，设置有用于掩模粘着层形成的掩模粘着层用阶梯(4)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在半导体装置，印刷基板或液晶表示装置等的制造中使用的作为防尘器使用的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件框架，其制造方法以及防尘薄膜组件。
技术介绍
在L S I，超L S I等的半导体制造以及液晶表示装置等的制造中，要对半导体晶片或液晶用原板进行光照射，以制作图案，此时使用的光掩模以及中间掩模(以下，简称光掩模)上如有灰尘附着，这样的灰尘会吸收光或使光弯曲，从而使转印的图案变形，边沿不齐，基底脏黑等，使尺寸，品质，外观等受损。由此，这样的作业通常在无尘室中进行，但是即使如此，也难以使光掩模总是保持总是清洁，因此，要先在光掩模表面贴附防尘的防尘薄膜组件，然后再进行曝光。这样的场合，异物就不会再光掩模的表面直接附着，而是防尘薄膜组件上附着。因此，再光刻时，只要将焦点对准光掩模上的图案上，防尘薄膜组件上的异物就与为转印无关了。防尘薄膜组件，一般，将光可以良好地透过的硝酸纤维素，乙酸纤维素，或氟树脂等形成的透明的防尘薄膜贴附于由铝，不锈钢，聚乙烯等形成的防尘薄膜组件框架的上端面而形成。进一步，在防尘薄膜件框架的下端面上为了贴附光掩模，通常设置聚丁烯树脂，聚乙酸乙烯基树脂，丙烯酸树脂，硅氧烷树脂等形成的粘着层，以及以保护粘着层为保护的目的的离型层。为了使防尘薄膜无松驰地被在防尘薄膜组件框架中被支持，以具有适当的张力的状态在防尘薄膜组件框架上接着是必要的。在用以往的材料制的矩形的防尘薄膜组件中，防尘薄膜被贴附后的防尘薄膜组件框架，由于防尘薄膜的张力会有一些向内侧弯曲，防尘薄膜易松驰。这样的现象，在例如印刷基板以及液晶表示面板等中使用的大的防尘薄膜组件框架，或者即使是半导体制造中用的小型的防尘薄膜组件框架，由于材质以及尺寸上的限制必须采用中低刚性的框架的防尘薄膜组件中，尤为显著。另一方面，在光掩模中，为了低成本化，要尽量使曝光领域广阔。由此为了使防尘薄膜组件框架的向内侧的弯曲尽量小，要而进行小型化，这会产生可利用的曝光领域减少的问题。进一步，期望将弯曲量尽量抑制的同时，得到宽度小的防尘薄膜组件框架，使其内侧的曝光面积变得广阔，从而减少成本。作为解决该防尘薄膜组件框架的弯曲的装置，例如，专利文献I中，公开了一种防尘薄膜组件框架，其为在框体的至少一对的边，中央部为向外侧凸的圆弧形状部分，其两侧为外侧凹的圆弧形状部分，进一步其外侧为直线形状部分的防尘薄膜组件框架。根据这样的方法，进行适切的设计，可以将弯曲量控制在一定的值以下。但是，不管哪样的框宽，只要取得张力平衡，保持框的直线形状是可能的，但是，如果想尽量使框宽变窄的场合，即使得到直线形状，但是刚性会变低，从而会变得难以处理，或用很小的外力，就可以使防尘薄膜发生折皱，松弛等问题，不宜于实用，好不容易贴附的防尘薄膜也不能发挥充分的效果。框高由曝光机的光学设计来决定。所以使框宽变窄并且使防尘薄膜组件框架的刚性变高的方法，为使用弹性系数高的材料。作为这样的方法，例如，在专利文献2中，记载了在铝合金的框体上，将含有比框体的弹性系数大的不锈钢以及埋入钛的防尘薄膜组件框架。但是，钢铁、不锈钢等的铁类合金极重，另外，钛合金加工性(被削性)非常差，所以在实际中难以采用。作为它们的代用物，现在，是在航空领域等中利用的作为高刚性材料的碳纤维复合材料，其具有比各种金属材料的大的刚性，其重量以及加工性也没有问题。但是，使用碳纤维，有碳纤维会发生灰尘等的担心。进一步，在使用碳纤维复合材料的场合，原料成本，加工成本与一般所使用的铝合金等比较，其成本会显著上升。由于这样的问题，碳纤维复合材料至今为止没有被采用为防尘薄膜组件框架。先行技术文献专利文献专利文献1:日本特开2006-56544号公报专利文献2:日本特开2006-284927号公报
技术实现思路
本专利技术就是要解决所述课题，利用在碳纤维中浸溃树脂而成的复合材料，得到一种轻量化的，使由于防尘薄膜的张力造成的弯曲以及在处理中发生的弯曲变小的高刚性的，原料成本以及生产成本减低的防尘薄膜组件框架，以及其制造方法。另外在该防尘薄膜组件框架上将防尘薄膜贴附，可以得到一种具有大的曝光面积，原料成本以及生产成本减低的防尘薄膜组件。本专利技术的目的可以通过以下技术方案来达成:1.一种防尘薄膜组件框架，其为防尘薄膜绷紧覆盖的多边形的框体，其特征在于:将碳纤维在形成该框架的各边的长方向取向的被浸溃有树脂的复合材料，沿多边形进行缠绕叠层，使所述树脂固化而成为一体。2.上述I所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于:所述复合材料为连续的单一材料的缠绕叠层而成，或由多个至少缠绕I周的多个材料进行叠层而成。3.上述I或2所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于:所述复合材料为将取向的多根所述碳纤维用所述树脂浸溃的片状。4.上述1-3中的任一项所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于:所述框体的表面被研磨以及/或切削而平滑化。5.上述1-4的任一项所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于:所述框体的表面，用树脂覆盖膜覆盖。6.一种防尘薄膜组件框架的制造方法，其特征在于包括基础材料形成工序:在比期望的内尺寸小的呈多边形的框体的芯材上，用具有比所述框体的所期望的高更大的宽度以及至少具有缠绕所述框体的一周的长度，在所述长度方向上取向的被树脂浸溃了的碳纤维的片状的复合材料，进行缠绕，进行比所述框体的所期望的外尺寸还要大地叠层，将所述树脂加热固化，将其作为基础材料；框体形成工序:将所述基础材料进行切削加工，使其形成具有所期望的内尺寸，外尺寸以及高度的框体。7.上述6所述的防尘薄膜组件框架的制造方法，其特征在于具有所述基础材料形成工序:在具有在比所述框体的所期望的内尺寸小的芯材上，将具有比所述框体的所期望的高度的至少2倍的宽度以及至少具有所述框体的一周的长度的，在所述长度方向上取向的用树脂浸溃的碳纤维的片状复合材料进行缠绕，将得到的比所述框体的外尺寸大的叠层体进行加热使树脂固化，然后切削加工对与所述框体的边平行的方向上进行分割，得到多个所述基础材料。8.上述5-7的任何一项所述的防尘薄膜组件框架的制造方法，其特征在于:具有在所述框体的表面上形成树脂覆盖膜的所述框体形成工序。9.一种防尘薄膜组件，其特征在于:在上述1-5的任一项所述的防尘薄膜组件框架上，将防尘薄膜绷紧贴附。专利技术效果本专利技术的防尘薄膜组件框架，由在碳纤维中使树脂浸溃而得到的复合材料形成，由此在具有轻量的同时，具有高的刚性。这样的防尘薄膜组件框架，由于具有该构造的复合材料的碳纤维是沿着各边的长方向取向，所以纤维的机械的强度可以发挥到最大限度，对于防尘薄膜的张力造成的弯曲以及处理中发生的弯曲，显示出极高的刚性。另外，在碳纤维的取向的优点之上，由于没有纤维的接缝或很少有接缝，所以可以在防止由接缝产生的强度的变低，并且在得到高刚性的同时，可以防止断裂的发生，具有难以传播的特性，以及高的可信性。由此，与以往使用的材料的防尘薄膜组件框架相比，各边的宽度可以变窄，从而可以得到大的内侧曝光面积。进一步，本专利技术的防尘薄膜组件框架，可以通过对其表面进行研磨以及切削等的加工使其平滑化，尺寸精度变高。进一步，该表面由于被树脂覆盖，对防尘薄膜组件框架的加工不会使碳纤维在切削面上露出，由此，在防止碳纤维的脱落以及灰尘发生的同时，可以防止由紫外线造成的老化。根据本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防尘薄膜组件框架，其为防尘薄膜绷紧覆盖的多边形的框体，其特征在于：将碳纤维在形成该框架的各边的长方向取向的被浸渍有树脂的复合材料，沿多边形进行缠绕叠层，使所述树脂固化而成为一体。

【技术特征摘要】
2011.11.04 JP 2011-2423441.一种防尘薄膜组件框架，其为防尘薄膜绷紧覆盖的多边形的框体，其特征在于:将碳纤维在形成该框架的各边的长方向取向的被浸溃有树脂的复合材料，沿多边形进行缠绕叠层，使所述树脂固化而成为一体。2.权利要求1所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于:所述复合材料为连续的单一材料的缠绕叠层而成，或由多个至少缠绕I周的多个材料进行叠层而成。3.权利要求1或2所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于:所述复合材料为将取向的多根所述碳纤维用所述树脂浸溃的片状。4.权利要求1一 3中的任一项所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于:所述框体的表面被研磨以及/或切削而平滑化。5.权利要求1一 4的任一项所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于:所述框体的表面，用树脂覆盖膜覆盖。6.一种防尘薄膜组件框架的制造方法，其特征在于:包括 基础材料形成工序:在比期望的内尺寸小的呈多边形的框体的芯材上，用具有比所述框体的所期望的高更大的宽度以及至少具有缠绕所...

【专利技术属性】
技术研发人员：关原一敏，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：