【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种可调式固定装置,尤其涉及一种用以固定掩模的可调式固定装置。
技术介绍
目前,有机发光二极管(organic light emitting diode, 0LED)中的有机膜层多半采用热蒸镀方式镀膜,主要选用具磁性的金属来制作掩模(mask,遮罩),在掩模上蚀刻出细微的开口,于开口露出欲镀膜的位置。蒸镀时,以磁铁吸引掩模,使掩模与欲镀膜的基板紧密贴合,而在制作大面积掩模时,目前是将掩模制作成多个长条状掩模,再将每一条掩模施以拉伸张力,利用掩模上的细微开口对位,再焊接于框架上。请参照图I至图3,图I为现有技术的掩模10固定于框架12上的俯视图,图2为·五种产生扭曲变形的掩模10的示意图,图3为两种产生扭曲变形的框架12的示意图。如图I所示,多个长条状掩模10的两端施以拉伸张力F而分别焊接于框架12的两侧边上。由于现行掩模10是采用激光点焊方式焊接于框架12上,因此焊接速度相当慢,而随着焊接过程中掩模10的力平衡状态会逐渐改变,加上焊点的温度造成膨胀,导致掩模10会有偏移的状况发生,进而产生扭曲变形,如图2所示。此外,由于每一条掩模10加工质量不同, ...
【技术保护点】
一种可调式固定装置,用以固定一掩模,该可调式固定装置包含:一框架;以及两个可调式固定机构,设置于该框架的相对两侧,每个可调式固定机构包含:一座体,设置于该框架上;两个支撑件,可移动地设置于该座体的相对两侧;一固定件,该固定件的两端分别固定于所述两个支撑件上,该掩模固定于该固定件上;以及两个第一调整件,对应所述两个支撑件设置于该座体的相对两侧,每个第一调整件分别用以驱动所述两个支撑件的其中之一相对于该框架前后移动。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:黄倍慈,翁照钦,萧智鸿,陈英杰,
申请(专利权)人:友达光电股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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