【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种碳化硅微粉的制备方法,尤其涉及。
技术介绍
现有碳化硅晶体生长用高纯微粉多采用感应加热烧结后破碎,例如,将硅粉和碳粉混合后,放置于石墨坩锅内,通过感应加热进行合成,合成温度达到2000°C以上,碳粉和硅粉反应合成的碳化硅微粉。采用这种方法合成的碳化硅微粉烧结成块体,需要进行再次破碎,造成了碳化硅粉的二次污染,合成微粉在破碎后粒度大小不一,需要经过筛选,造成沾污和浪费。而且感应加热合成的单次合成量较少,较难满足大规模生产要求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供,减少原料合成过程污染,单次合成量大,同时合成碳化硅微粉颗粒均匀,无需破碎。 本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下,包括以下步骤( I)将碳粉和硅粉的均匀混合,得到混合物;(2)将所述混合物加入到加热室中,通过微波对所述混合物进行加热,即可得所述用于碳化硅晶体生长的碳化硅微粉。本专利技术的有益效果是本专利技术采用微波加热,加热均匀,合成的碳化硅颗粒粒径均一性好,得到的产品不需要使用传统球磨机破碎,无二次沾污,保证产品纯度,同时单次合成量大,效率高。在上述技术方案的基础上,本专利技术还可以做如下改进。进一步,步骤(I)中,所述所述碳粉纯度不低于99. 999%,颗粒度介于20 μ m到1000 μ m,所述硅粉纯度不低于99. 999%,颗粒度介于20 μ m到1000 μ m,且所述碳粉与所述硅粉按照摩尔质量比为1:1混合均匀。进一步,步骤(2)中,所述微波的频率为900 3000MHz。进一步,步骤(2)中,所述加热包括以下步骤a.将所述加热室内的温度加热到1400 ...
【技术保护点】
一种用于碳化硅晶体生长的碳化硅微粉的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将碳粉和硅粉的均匀混合,得到混合物;(2)将所述混合物加入到加热室中,通过微波对所述混合物进行加热,即可得所述用于碳化硅晶体生长的碳化硅微粉。
【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅晶体生长的碳化硅微粉的制备方法,其特征在于,包括以下步骤 (1)将碳粉和硅粉的均匀混合,得到混合物; (2)将所述混合物加入到加热室中,通过微波对所述混合物进行加热,即可得所述用于碳化硅晶体生长的碳化硅微粉。2.根据权利要求1所述用于碳化硅晶体生长的碳化硅微粉的制备方法,其特征在于, 步骤(I)中,所述碳粉纯度不低于99. 999%,颗粒度介于20 μ m到1000 μ m,所述娃粉纯度不低于99. 999%,颗粒度介于20 μ m到1000 μ m,且所述碳粉与所述娃粉按照摩尔质量比为1:1混合均匀。3.根据权利要求1所述用于碳化硅晶体生长的碳化硅微粉的制备...
【专利技术属性】
技术研发人员:高宇,陶莹,邓树军,段聪,赵梅玉,
申请(专利权)人:保定科瑞晶体有限公司,
类型:发明
国别省市:
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