下载一种用于碳化硅晶体生长的碳化硅微粉的制备方法的技术资料

文档序号:8619092

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本发明涉及一种用于碳化硅晶体生长的碳化硅微粉的制备方法,包括以下步骤:将碳粉和硅粉的均匀混合,得到混合物;再将所述混合物加入到加热室中,通过微波对所述混合物进行加热,即可得所述用于碳化硅晶体生长的碳化硅微粉。本发明采用微波加热,加热均匀,合...
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