The utility model relates to a directional clamp for the eccentric angle processing of silicon carbide crystal, which belongs to the field of crystal processing devices. The directional fixture includes a rotating slide, is fixedly connected with the cutting table, provided with a rotation angle adjusting knob; horizontal angle regulator, mounted on a rotating slide surface is provided with a horizontal angle adjusting knob; supporting frame, is provided with a support base, a support base is fixedly connected with the upper surface of the horizontal angle regulator and, on the support frame on the base surface is fixedly connected with a linear slide; the pressing block is fixedly connected on the surface of the slider linear slide on the following slide. The utility model with 0 degrees of partial cylindrical crystal rod based regulator by adjusting the horizontal angle angle can be 2 degrees to 4 degrees oblique angle of the substrate; by adjusting the rotating slide relative to the vertical angle, can be 4 to 8 DEG oblique angle of the substrate; and the precision can reach + 1'.
【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶体偏角度加工的定向夹具
本技术属于晶体加工装置领域,涉及一种晶体偏角度加工的定向夹具,具体地,特别涉及一种碳化硅晶体偏角度加工的定向夹具。
技术介绍
碳化硅单晶具有高导热率、高击穿电压和化学稳定性高等半导体物理性质,可以制作成在高温、强辐射条件下工作的高频、高功率电子器件和光电子器件,是极具发展前景的第三代宽禁带半导体材料。目前,主要是使用物理气相传输法(PVT法)生长出大直径的高质量碳化硅单晶并制成外延基片,用碳化硅单晶外延片制作电子器件和光电子器件。为了制造碳化硅半导体器件,需要在碳化硅晶片表面生长一层或数层的碳化硅薄膜。目前,主要是通过化学气相沉积法对碳化硅晶片进行同质外延生长。碳化硅在无偏角衬底上外延生长时,即碳化硅晶体上切割下来的晶片其外延表面与晶棒轴之间夹角为0°,生长出来的外延层宏观外延缺陷密度很大,不能用于常规的半导体工艺制备器件。对于偏8°斜切碳化硅衬底,即在切割晶片时,使衬底外延表面朝晶轴方向偏8°,使外延表面形成高密度的纳米级外延台阶,可使生长的外延层达到晶圆级水平。目前,一般采用金刚石单线切割方法对碳化硅晶体进行切割,但是直接对PVT法生长出来的碳化硅晶体生长面进行切割只能得到偏0°的衬底,不能得到理想晶体面。现有技术中,通过调整单根金刚石线的角度,使金刚石线与待切晶体轴线呈8°或4°等,然后得到斜切偏8°、偏4°碳化硅衬底。此外,现有专利申请号为201210094287.X的晶体切割定位粘接台可以实现切割偏不同角度的衬底,但是,该粘接台要求先将待切割的晶体加工成偏8°、偏4°的晶体,且衬底偏角切割精度只能达到±10′。 ...
【技术保护点】
一种碳化硅晶体偏角度加工的定向夹具,其特征在于,包括:旋转滑台,固定连接在切割工作台上,设置有旋转角度调整旋钮,用于调节旋转滑台相对于垂直面的角度,实现斜切4°至8°偏角度衬底;水平角度调节器,安装于所述旋转滑台上表面,设置有水平角度调节旋钮,用于调节水平角度调节器的角度,实现斜切2°至4°偏角度衬底;支撑架,设置有支撑架底座,所述支撑架底座固定连接在水平角度调节器上表面,所述支撑架底座上表面固定连接有直线滑轨,所述直线滑轨包括配套安装的轨道和滑块;压紧块,固定连接在所述滑块上表面,可跟随所述滑块沿所述轨道滑动,用于与所述支撑架夹紧待切割的碳化硅晶棒。
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶体偏角度加工的定向夹具,其特征在于,包括:旋转滑台,固定连接在切割工作台上,设置有旋转角度调整旋钮,用于调节旋转滑台相对于垂直面的角度,实现斜切4°至8°偏角度衬底;水平角度调节器,安装于所述旋转滑台上表面,设置有水平角度调节旋钮,用于调节水平角度调节器的角度,实现斜切2°至4°偏角度衬底;支撑架,设置有支撑架底座,所述支撑架底座固定连接在水平角度调节器上表面,所述支撑架底座上表面固定连接有直线滑轨,所述直线滑轨包括配套安装的轨道和滑块;压紧块,固定连接在所述滑块上表面,可跟随所述滑块沿所述轨道滑动,用于与所述支撑架夹紧待切割的碳化硅晶棒。2.根据权利要求1所述的定向夹具,其特征在于,所述滑块内开有螺纹孔,所述支撑架开有光孔,所述定向夹具还包括丝杆,所述丝杆的螺纹一...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨翠柏,陈丙振,方聪,
申请(专利权)人:珠海鼎泰芯源晶体有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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