一种传送滚轮及化学腐蚀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种传送滚轮，传送滚轮的横截面为齿轮状，采用这种形状的传送滚轮，减少了在传送过程中传送滚轮与硅片的接触面积，能够避免化学腐蚀过程中硅片表面滚轮印的产生，改善化学腐蚀的效果，从而消除了滚轮印对电池片外观及电性能的影响。本实用新型专利技术还公开了一种装有上述传送滚轮的腐蚀装置。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体硅太阳能电池制造领域，特别涉及一种传送滚轮及化学腐蚀>J-U ρ α装直。
技术介绍
太阳能电池作为世界的新能源材料之一，其发展极为迅速。制作太阳能电池片的工序通常包括硅片表面制绒、扩散制PN结(PN junction)、刻蚀、镀减反射膜，丝网印刷、烧结等一系列工序。其中，制绒工序是为了有效地降低晶体硅表面的反射，提高陷光作用，从而提高电池片的电性能。而在扩散工序中，不论是单面扩散还是双面扩散，都不可避免的在硅片周边也形成了扩散层，PN结的正面所收集的光生电子会沿着边缘扩散层流到PN结的背面，从而造成短路。周边上存在任何微小的局部短路都会使电池并联电阻下降，反向电流增大，降低太阳能电池的整体电性能。因此，必须对太阳能电池周边以及背面的掺杂硅进行刻蚀，以去除电池边缘的PN结。所以刻蚀也是制备太阳能电池片的重要工序之一。目前晶体硅太阳能电池工业化生产中普遍采用化学腐蚀方法进行硅片的制绒与刻蚀。其优点是设备要求低，腐蚀表面光滑平整。然而在现有技术化学腐蚀过程中，腐蚀装置中的传送滚轮的横截面为圆环状，这样的传送滚轮会导致硅片上出现两条滚轮印，影响硅片的腐蚀效果。而且这种本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送滚轮，用于安装在化学腐蚀装置的转轴上，其特征在于，所述传送滚轮（4）的横截面为齿轮状。

【技术特征摘要】
1.一种传送滚轮，用于安装在化学腐蚀装置的转轴上，其特征在于，所述传送滚轮(4) 的横截面为齿轮状。2.根据权利要求1所述的传送滚轮，其特征在于，所述传送滚轮(4)的齿顶为圆弧状。3.根据权利要求1所述的传送滚轮，其特征在于，所述传送滚轮(4)的齿数为6-30个。4.根据权利要求1所述的传送滚轮，其特征在于，所述传送滚轮(4)为耐腐蚀材料制成。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张俊娟，王立建，
申请(专利权)人：浙江昱辉阳光能源江苏有限公司，
类型：实用新型
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