一种对氢气敏感的钯/碳/二氧化硅/硅异质结材料制造技术

本发明专利技术提供了一种具有优异氢气敏感效应的钯/碳/二氧化硅/硅异质结材料，该材料是通过对碳膜的掺杂和加入二氧化硅插层的方法，优化了钯/碳/二氧化硅/硅异质结的电学性能，从而制备出具有优异氢气敏感效应的钯/钯掺杂碳膜/二氧化硅/硅异质结新材料。该材料可以用于开发性能优异的氢气敏感器件，该器件无需加热器，能在室温下工作，且具有耗能低，工艺简单，灵敏度高，响应、恢复时间短的特点，在气体探测领域，具有重要的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具有优异氢气敏感效应的钯/碳/ 二氧化硅/硅异质结材料。
技术介绍
氢气是一种重要的工业气体，在化工和石油炼制、生物医药工业、半导体电子工业中都有重要的应用。由于氢气的生产原料丰富、燃烧时不产生污染等特点，氢气被认为是将来可替代石油、煤等传统能源的新型清洁能源。但由于氢气无色无味、易燃易爆，因此，在氢气的生产、储存和运输过程中，就需要用可靠的气敏传感器来探测氢气是否泄漏和监控氢气浓度的变化[Sens. Actuators B157 (2011) 329-352] 然而，目前商用的氢气传感器存在体积大成本高的缺点，另外，基于很多材料(如金属氧化物等)制造的氢气传感器需要预加热及高温操作，而这将会导致高耗能，在某些恶劣环境下还会带来危险[Int. J. Hydrogen Energy32 (2007) 1145]。近些年来,随着纳米科技的兴起，国内外研究者们开始致力于研发基于纳米材料(如GaN、GaAs> SiC、Si基的纳米材料以及Pd纳米线、Ti纳米管、ZnO纳米棒、InN纳米带等纳米材料)的气体传感器，但是该类纳米材料的器件制作要求严格、成本高，不适用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对氢气敏感的钯/碳/二氧化硅/硅异质结材料?其特征是，钯/碳/二氧化硅/硅异质结具有优异氢气敏感效应。

【技术特征摘要】
1. 一种对氢气敏感的钯/碳/ 二氧化硅/硅异质结材料 ...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛庆忠，杜永刚，张忠阳，夏富军，雷拓，韩治德，
申请(专利权)人：中国石油大学华东，
类型：发明
国别省市：